温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提出了一种实现薄膜厚度精确测量的装置，包括迈克尔逊干涉仪、图像传感器CCD、数据采集模块、硬件和驱动电路；迈克尔逊干涉仪用于产生干涉条纹，且迈克尔逊干涉仪上设有点光源；CCD用于记录迈克尔逊干涉仪产生的干涉条纹，且CCD与数据采集...
该专利属于华南师范大学所有，仅供学习研究参考，未经过华南师范大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。