【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种带有感应晶圆花篮功能的起吊装置，用于半导体清洗设备中。
技术介绍
目前，在半导体清洗设备中，晶圆花篮的起吊装置上没有感应器，不能自动控制，运行中常会出现该钩住时没钩住，该脱钩时没脱钩的情况发生，会使晶圆脱落而造成损失。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术的不足，提供一种结构简单、能实现自动化控制并且自动感应晶圆花篮的起吊装置。 实现本技术目的的技术方案是一种带有感应晶圆花篮功能的起吊装置，包括机械手吊钩和花篮承载筐，机械手吊钩的两侧均设置有至少两个以上的钩部，花篮承载筐上设置有与钩部相配的凸起部，至少一个钩部内固定有传感器，相应的凸起部内固定有与传感器相配的感应块。采用了上述技术方案后，当钩部勾起凸起部时，传感器与感应块接触很近，传感器感应到感应块，发信号给控制单元，确认钩住花篮承载筐，然后控制单元发指令给机械手提升起花篮承载筐，即吊起花篮承载筐动作完成；当钩部与凸起部脱离时，传感器感应不到感应块，传感器发信号给控制单元，确认机械手吊钩空载，可以提升，即花篮承载筐脱钩成功，本技术的钩部两侧各设置为两个以上，两个以上的钩部形成一个面，钩取花篮承载筐更加稳定可靠，本技术结构简单，并且具有自动感应晶圆花篮是否钩住的功能，起到一定的防护作用，通过控制单元便能实现自动化控制，不需要人工干预，降低了成本，提高了生产效率。附图说明图I为本技术的带有感应晶圆花篮功能的起吊装置的结构立体图。具体实施方式为了使本技术的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本技术作进一步详细的说明，如图I所示,一种带有感应晶圆花篮功能的起吊装置,包括机械手吊...
【技术保护点】
一种带有感应晶圆花篮功能的起吊装置，包括机械手吊钩（1）和花篮承载筐（2），机械手吊钩（1）的两侧均设置有至少两个以上的钩部（1？1），花篮承载筐（2）上设置有与钩部（1？1）相配的凸起部（2？1），其特征在于：至少一个钩部（1？1）内固定有传感器（3），相应的凸起部（2？1）内固定有与传感器（3）相配的感应块（4）。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：卡尔·罗伯特·休斯特，
申请(专利权)人：硅密常州电子设备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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