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本实用新型公开了一种带有感应晶圆花篮功能的起吊装置,包括机械手吊钩和花篮承载筐,机械手吊钩的两侧均设置有至少两个以上的钩部,花篮承载筐上设置有与钩部相配的凸起部,至少一个钩部内固定有传感器,相应的凸起部内固定有与传感器相配的感应块。本实用新...该专利属于硅密(常州)电子设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过硅密(常州)电子设备有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种带有感应晶圆花篮功能的起吊装置,包括机械手吊钩和花篮承载筐,机械手吊钩的两侧均设置有至少两个以上的钩部,花篮承载筐上设置有与钩部相配的凸起部,至少一个钩部内固定有传感器,相应的凸起部内固定有与传感器相配的感应块。本实用新...