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一种反提拉涂膜装置制造方法及图纸

技术编号:8278853 阅读:256 留言:0更新日期:2013-01-31 19:56
本实用新型专利技术涉及一种反提拉涂膜装置,该装置包括了直流稳压电源、电动推杆、盛溶胶容器和基片固定装置,所述盛溶胶容器为恒温容器,所述盛溶胶容器安装在电动推杆的升降推杆上,所述电动推杆由直流稳压电源控制,所述盛溶胶容器旁侧还设置有用于固定基片的基片固定装置,该装置具有提拉速度可控范围宽、精度高、稳定性好、操作方便、涂膜的连续性好以及装置的制作成本低廉等优点,该装置可在任意形状、多种尺寸的基片上制备厚度从几十纳米到数个微米的薄膜,且制备的薄膜均匀性和一致性好。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术属于薄膜制备
,涉及一种用于成膜的反提拉装置。
技术介绍
溶胶-凝胶法制备薄膜具有工艺简便、设备要求低以及易于制备均匀的多组分薄膜等优点,在薄膜制备领域受到广泛关注。以溶胶-凝胶法制备薄膜时,其成膜技术主要有旋涂法、喷涂法和提拉法。其中,旋涂法仅适用于小尺寸的平面基片,其用途基本仅限于实验室的研发;而喷涂法和提拉法可在不同形状的大尺寸基片上制备薄膜,在实验室和工业生产上都具有实用价值。喷涂法的主要工艺过程是将洗净的基板放到专用加热炉内,然后用专用喷枪以一定的压力和速度将溶胶喷至热的基板表面形成凝胶膜。因此,薄膜的厚度受溶胶粘度、压 力、喷涂速度和喷涂时间等多个参数的影响,且薄膜的均匀性取决于喷枪雾化溶胶成均匀细小液滴的效果。相比较而言,提拉法是将整个洗净的基板浸入预先制备好的溶胶之中,然后以精确控制的速度将基板平稳地从溶胶中提拉出来,在粘度和重力的作用下基板表面形成一层均匀的凝胶膜,薄膜厚度主要取决于粘度和提拉速度,即工艺过程较喷涂法简单。但在传动装置带动基板行进过程中,若传动装置的精度和稳定性不够,基板易发生抖动,由此薄膜的均匀性受到影响。采用高精度和高稳定性的传动装本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种反提拉涂膜装置,其特征在于:该装置包括了直流稳压电源、电动推杆、盛溶胶容器和基片固定装置,所述盛溶胶容器为恒温容器,所述盛溶胶容器安装在电动推杆的升降推杆上,所述电动推杆由直流稳压电源控制,所述盛溶胶容器旁侧还设置有用于固定基片的基片固定装置。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:赵剑曦李镇祥
申请(专利权)人:福州大学
类型:实用新型
国别省市:

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