【技术实现步骤摘要】
本技术涉及超导薄膜涂敷装置，具体说是一种在金属带或其他基带表面两侧同时实现薄膜连续涂敷的装置。
技术介绍
常用的超导薄膜制备方法包括物理气相沉积和化学溶液涂层工艺。前者较为成熟,但是需要高真空设备,成本甚高；相比之下,化学法不需要高真空条件,制备成本明显低于前者，国内外已有不少单位采用化学法成功获得了第二代高温超导带材。在化学法制备超导薄膜的过程中，涂膜是基本组成环节之一，其基本方法主要有旋涂、浸泡、流延涂敷等。这里面旋涂法无法连续成膜；流延涂敷法目前基本上是单侧成膜，存在双侧成膜困难的问题。目前普遍使用的化学溶液涂覆方法采用直接的溶液浸泡涂覆。然而这种涂覆需要将溶 液完全暴露在环境气氛中，很容易受到环境湿度的影响，对溶液的稳定性不利。另外，该方法在连续制备长带时，需要将基带由导轮下压至液面，涂层面为一个弧形面，导轮单面接触基带，难以实现双面涂层。而且，由于溶液暴露面大，连续走带时间长，涂层溶液受外环境的影响较大，存在溶液挥发、不稳定、浪费严重等问题；。
技术实现思路
本技术的目的是提供了一种简便的可实现双面涂膜的连续的超导薄膜双面涂敷装置。主要解决超导薄膜涂膜过程中双面涂敷、连续化和均匀性等技术难题。使基带不与涂膜装置有固体的接触，也就是基带只与溶液接触，并且可以同时实现双面涂膜。为达到上述目的，本技术的技术方案是一种连续的超导薄膜双面涂敷装置，设置三个腔室，中间的主腔室和两侧的辅助腔室，腔室之间以及腔室与外界之间通过孔或缝连结，基带直线通过装置，不与腔室存在固体接触，并且在通过主腔室的过程中实现双面涂膜。辅助腔室通过管路连接蠕动泵进口，蠕动泵出口通过管路...
【技术保护点】
一种高温超导薄膜连续双面涂敷装置，其特征是设置三个腔室，中间的主腔室和两侧的辅助腔室，腔室之间以及腔室与外界之间通过孔或缝连结，基带直线通过装置，辅助腔室通过管路连接蠕动泵进口，蠕动泵出口通过管路通入主腔室，形成循环回路。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：蔡传兵，刘志勇，白传易，鲁玉明，
申请(专利权)人：上海上创超导科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。