下载一种高温超导薄膜连续双面涂敷装置的技术资料

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本实用新型涉及到一种连续涂膜装置,具体说是一种高温超导薄膜连续双面涂敷装置。主要解决超导薄膜涂膜过程中双面涂敷、连续化和均匀性等技术难题。技术方案为:一种高温超导连续薄膜双面涂敷装置,其特征是设置三个腔室,中间的主腔室和两侧的辅助腔室,腔室...
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