【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及滤波器，尤其涉及一种梯形齿状太赫兹波滤波器。
技术介绍
太赫兹波介于微波和可见光之间，是宏观电磁理论向微观量子理论过渡的区域，也是电子学向光子学的过渡区域，有重要的学术和应用研究价值。但直至20世纪80年代，对太赫兹波段各方面特性的研究和了解还非常有限，而且都基于理论层次上，形成了远红外线和毫米波之间所谓的“太赫兹空隙”(Terahertz Gap)。近些年来，太赫兹源实际产生技术的研究取得了很大的进展。随着量子级联激光器(QCLs)、自由电子激光器(FEL)、光波差频方法以及通过光整流等产生较大功率的连续太赫兹波方法的出现，以及超外差式和直接探测器的研究等太赫兹探测方面的进展，太赫兹技术逐渐成为世界范围内广泛研究的热点。目前世界上很多国家都积极地开展太赫兹方面的研究，在国内也掀起了太赫兹研究 的浪潮。太赫兹系统主要由辐射源、探测器件和各种功能器件组成。在实际应用中，由于应用环境噪声以及应用需要的限制等，需滤除不需要的频率范围和噪声，提高系统的性能，因而滤波器在太赫兹频域实际应用中具有重要意义。目前太赫兹滤波器结构主要基于光子晶体、频率选择性表面等结构，虽...
【技术保护点】
一种梯形齿状太赫兹波滤波器，其特征在于包括太赫兹波输入端（1）、太赫兹波输出端（2）、高阻硅基体（3）；高阻硅基体（3）上刻蚀有三个梯形齿状凹槽结构（4），三个梯形齿状凹槽结构（4）的圆心组成一个等边三角形，梯形齿状凹槽结构（4）包括外层等腰梯形凹槽（5）、圆环型凹槽（6）、内层扇形凹槽（7），外层等腰梯形凹槽（5）等间距排列在圆环型凹槽（6）的外侧，内层扇形凹槽（7）等间距排列在圆环型凹槽（6）的内侧，太赫兹波从太赫兹波输入端（1）垂直入射，经过刻蚀有三个梯形齿状凹槽结构（4）的高阻硅基体（3），达到太赫兹波输出端（2），实现对太赫兹波信号的滤波。
【技术特征摘要】
1.一种梯形齿状太赫兹波滤波器，其特征在于包括太赫兹波输入端(I)、太赫兹波输出端(2)、高阻硅基体(3);高阻硅基体(3)上刻蚀有三个梯形齿状凹槽结构(4)，三个梯形齿状凹槽结构(4)的圆心组成一个等边三角形，梯形齿状凹槽结构(4)包括外层等腰梯形凹槽(5)、圆环型凹槽(6)、内层扇形凹槽(7)，外层等腰梯形凹槽(5)等间距排列在圆环型凹槽(6)的外侧，内层扇形凹槽(7)等间距排列在圆环型凹槽(6)的内侧，太赫兹波从太赫兹波输入端(I)垂直入射，经过刻蚀有三个梯形齿状凹槽结构(4)的高阻硅基体(3)，达到太赫兹波输出端(2 )，实现对太赫兹波信号的滤波。2.根据权利要求I所述的一种梯形齿状太赫兹波滤波器，其特征在于所述的高阻硅基体(3)长为 180(Γ2000μπι，宽为 180(...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。