阶梯形太赫兹波双通道滤波器制造技术

本发明专利技术公开了一种阶梯形太赫兹波双通道滤波器。它包括基板、左上等腰梯形输入波导、左下等腰梯形输入波导、左上弯曲窄臂波导、左下矩形窄臂波导、第一矩形波导、第二矩形波导、第三矩形波导，第四矩形波导、第五矩形波导、第六矩形波导、第七矩形波导、第八矩形波导、第九矩形波导、第十矩形波导、第十一矩形波导、第一直角梯形波导、第二直角梯形波导、第三直角梯形波导、第四直角梯形波导、第五直角梯形波导、第六直角梯形波导、右上弯曲窄臂波导、右下矩形窄臂波导、右上等腰梯形输出波导、右下等腰梯形输出波导，第一输入端口，第二输入端口，第一输出端口，第二输出端口；本发明专利技术具有尺寸小，结构紧凑，设计原理简单易行，响应快等优点。

Ladder shaped terahertz double channel filter

The invention discloses a ladder shaped terahertz wave double channel filter. It comprises a base plate, the upper left, lower left input waveguide isosceles trapezoid isosceles trapezoid input waveguide, the upper left arm bending narrow narrow rectangular waveguide, the left arm first waveguide, rectangular waveguide, second rectangular waveguide, third rectangular waveguide, fourth rectangular waveguide, fifth rectangular waveguide, sixth rectangular waveguide, seventh rectangular waveguide, rectangular waveguide, eighth ninth rectangular waveguide, tenth rectangular waveguide, eleventh rectangular waveguide, waveguide, first right angled trapezoid second right angled trapezoidal waveguide, third right angle trapezoidal waveguide and fourth right angle trapezoidal waveguide, fifth right angle trapezoidal waveguide and sixth right angle trapezoidal waveguide, right arm and right on the narrow bend waveguide narrow rectangular waveguide, the upper right arm and right isosceles trapezoid output waveguide under the isosceles trapezoid output waveguide, a first input port, second input port, a first output port, second output ports of the invention; It has the advantages of small size, compact structure, simple design principle, quick response and so on.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及太赫兹波滤波器，尤其涉及一种阶梯形太赫兹波双通道滤波器。
技术介绍
在微波通信、微波测量、军用通信、雷达等系统中，作为必不可少的无源器件，滤波器扮演着非常重要的角色。在通信系统所用到的无源器件中，滤波器应用广泛，对其进行研究具有重要的理论和工程意义。随着无线电技术日新月异，人们对微波频谱的需求不断增加，频谱资源显得日益紧张，频谱出现拥挤，甚至接近饱和。太赫兹频段领域的研究的展开，可为无线通信领域提供更高频段和更宽的频带。太赫兹所包含的频率范围远大于迄今为止所应用的无线电波的频率资源。太赫兹频谱在医疗、安全扫描、室内大容量通信、太空通信等方面极具前景的应用，人们对太赫兹频谱具有越来越浓厚的兴趣。对太赫兹无源器件的研究具有重要的意义。为了满足新型通信系统对体积、性能等不断提高的要求，迫切需要提出原理结构简单、尺寸小的太赫兹波滤波器来促进太赫兹波应用领域的发展。
技术实现思路
本专利技术提供一种阶梯形太赫兹波双通道滤波器，技术方案如下：阶梯形太赫兹波双通道滤波器，包括基板、左上等腰梯形输入波导、左下等腰梯形输入波导、左上弯曲窄臂波导、左下矩形窄臂波导、第一矩形波导、第一直角梯形波导、第二矩形波导、第二直角梯形波导、第三矩形波导、第三直角梯形波导、第四矩形波导、第五矩形波导、第六矩形波导、第七矩形波导、第八矩形波导、第四直角梯形波导、第九矩形波导、第五直角梯形波导、第十矩形波导、第六直角梯形波导、第十一矩形波导、右上弯曲窄臂波导、右下矩形窄臂波导、右上等腰梯形输出波导、右下等腰梯形输出波导、第一输入端口、第二输入端口、第一输出端口，第二输出端口；基板的上表面设有左上等腰梯形输入波导、左下等腰梯形输入波导、左上弯曲窄臂波导、左下矩形窄臂波导、第一矩形波导、第一直角梯形波导、第二矩形波导、第二直角梯形波导、第三矩形波导、第三直角梯形波导、第四矩形波导、第五矩形波导、第六矩形波导、第七矩形波导、第八矩形波导、第四直角梯形波导、第九矩形波导、第五直角梯形波导、第十矩形波导、第六直角梯形波导、第十一矩形波导、右上弯曲窄臂波导、右下矩形窄臂波导、右上等腰梯形输出波导、右下等腰梯形输出波导、第一输入端口、第二输入端口、第一输出端口，第二输出端口；左上等腰梯形输入波导的左端与基板的左端相连，左上等腰梯形输入波导的右端与左上弯曲窄臂波导的左端相连，左下等腰梯形输入波导的左端与基板的左端相连，左下等腰梯形输入波导的右端与左下矩形窄臂波导的左端相连，左上弯曲窄臂波导的右端与第一矩形波导的左上端相连，左下矩形窄臂波导的右端与第一矩形波导的左下端相连，第一直角梯形波导、第二矩形波导、第二直角梯形波导、第三矩形波导、第三直角梯形波导、第四矩形波导、第五矩形波导、第六矩形波导、第七矩形波导、第八矩形波导、第四直角梯形波导、第九矩形波导、第五直角梯形波导、第十矩形波导、第六直角梯形波导、第十一矩形波导从左至右顺次连接，第十一矩形波导的右上端与右上弯曲窄臂波导的左端相连，第十一矩形波导的右下端与右下矩形窄臂波导的左端相连，右上弯曲窄臂波导的右端与右上等腰梯形输出波导的左端相连，右上等腰梯形输出波导的右端与基板的右端相连，右下矩形窄臂波导的右端与右下等腰梯形输出波导的左端相连，右下等腰梯形输出波导的右端与基板的右端相连，第一输入端口在左上等腰梯形输入波导左侧、第二输入端口在左下等腰梯形输入波导左侧、第一输出端口在右上等腰梯形输出波导右侧，第二输出端口在右下等腰梯形输出波导左侧。第一信号传输端可以通过0.96THz频率的太赫兹波，第二信号传输端不能通过0.96THz频率的太赫兹波；第一信号传输端不能通过0.92THz频率的太赫兹波，第二信号传输端可以通过0.92THz频率的太赫兹波。所述的基板为二氧化硅材料，波导为硅材料，基板的长度为15μm～17μm，宽度为4.5μm～6.5μm，厚度为2μm～4μm。所述的左上等腰梯形输入波导、右上等腰梯形输出波导的上底均为0.24μm～0.26μm，下底均为0.3μm～0.5μm，高度均为0.1～0.3μm，厚度均为0.5μm～1.5μm。所述的左下等腰梯形输入波导、右下等腰梯形输出波导的上底均为0.24μm～0.26μm，下底均为0.5μm～0.7μm，高均为0.1～0.3μm，厚度均为0.5μm～1.5μm。所述的左上弯曲窄臂波导、右上弯曲窄臂波导的窄臂宽度均为0.3μm～0.5μm，高度均为0.7μm～0.9μm，前后边间隙宽度均为0.3μm～0.5μm，厚度均为0.5μm～1.5μm。所述的左下矩形窄臂波导、右下矩形窄臂波导的窄臂长度均为0.7μm～0.9μm，宽度均为0.5μm～0.7μm，厚度均为0.5μm～1.5μm。所述的第一矩形波导、第十一矩形波导相同，长度均为0.9μm～1.1μm，宽度均为0.3μm～0.5μm，厚度均为0.5μm～1.5μm，第二矩形波导、第十矩形的长度均为1.5μm～1.7μm，宽度均为0.7μm～0.9μm，厚度均为0.5μm～1.5μm，第三矩形波导、第九矩形波导的长度均为1.9μm～2.1μm，宽度均为1.6μm～1.8μm，厚度均为0.5μm～1.5μm，第四矩形波导、第六矩形波导、第八矩形波导的长度均为3.1μm～3.3μm，宽度均为1.6μm～1.8μm，厚度均为0.5μm～1.5μm，第五矩形波导、第七矩形波导的长度均为3.9μm～4.1μm，宽度均为0.3μm～0.5μm，厚度均为0.5μm～1.5μm。所述的第一直角梯形波导、第六直角梯形波导尺寸的上底均为0.7μm～0.9μm，下底均为1.1μm～1.3μm，高度均为0.3μm～0.5μm，厚度均为0.5μm～1.5μm，第二直角梯形波导、第五直角梯形波导的上底均为1.1μm～1.3μm，下底均为2.3μm～2.5μm，高度均为0.3μm～0.5μm，厚度均为0.5μm～1.5μm，第三直角梯形波导、第四直角梯形波导的上底均为2.3μm～2.5μm，下底均为3.1μm～3.3μm，高度均为0.3μm～0.5μm，厚度均为0.5μm～1.5μm。本专利技术具有尺寸小，结构紧凑，设计原理简单易行，响应快等优点。具体效果数据将在实施例中进行描述。附图说明图1是阶梯形太赫兹波双通道滤波器的正面结构示意图；图2是第一信号输出端传输效率图；图3是第二信号输出端传输效率图。具体实施方式如图1所示，阶梯形太赫兹波双通道滤波器，包括基板1、左上等腰梯形输入波导2、左下等腰梯形输入波导3、左上弯曲窄臂波导4、左下矩形窄臂波导5、第一矩形波导6、第一直角梯形波导7、第二矩形波导8、第二直角梯形波导9、第三矩形波导10、第三直角梯形波导11、第四矩形波导12、第五矩形波导13、第六矩形波导14、第七矩形波导15、第八矩形波导16、第四直角梯形波导17、第九矩形波导18、第五直角梯形波导19、第十矩形波导20、第六直角梯形波导21、第十一矩形波导22、右上弯曲窄臂波导23、右下矩形窄臂波导24、右上等腰梯形输出波导25、右下等腰梯形输出波导26、第一输入端口27、第二输入端口28、第一输出端口29，第二输出端口30；基板1的上表面设有左上等腰梯形输入波导2、左下等腰梯形输入波导3、左上弯曲窄臂波导4、左下矩形本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种阶梯形太赫兹波双通道滤波器，其特征在于基板(1)的上表面设有左上等腰梯形输入波导(2)、左下等腰梯形输入波导(3)、左上弯曲窄臂波导(4)、左下矩形窄臂波导(5)、第一矩形波导(6)、第一直角梯形波导(7)、第二矩形波导(8)、第二直角梯形波导(9)、第三矩形波导(10)、第三直角梯形波导(11)、第四矩形波导(12)、第五矩形波导(13)、第六矩形波导(14)、第七矩形波导(15)、第八矩形波导(16)、第四直角梯形波导(17)、第九矩形波导(18)、第五直角梯形波导(19)、第十矩形波导(20)、第六直角梯形波导(21)、第十一矩形波导(22)、右上弯曲窄臂波导(23)、右下矩形窄臂波导(24)、右上等腰梯形输出波导(25)、右下等腰梯形输出波导(26)、第一输入端口(27)、第二输入端口(28)、第一输出端口(29)和第二输出端口(30)；左上等腰梯形输入波导(2)的左端与基板(1)的左端相连，左上等腰梯形输入波导(2)的右端与左上弯曲窄臂波导(4)的左端相连，左下等腰梯形输入波导(3)的左端与基板的左端相连，左下等腰梯形输入波导(3)的右端与左下矩形窄臂波导(5)的左端相连，左上弯曲窄臂波导(4)的右端与第一矩形波导(6)的左上端相连，左下矩形窄臂波导(5)的右端与第一矩形波导(6)的左下端相连，第一直角梯形波导(7)、第二矩形波导(8)、第二直角梯形波导(9)、第三矩形波导(10)、第三直角梯形波导(11)、第四矩形波导(12)、第五矩形波导(13)、第六矩形波导(14)、第七矩形波导(15)、第八矩形波导(16)、第四直角梯形波导(17)、第九矩形波导(18)、第五直角梯形波导(19)、第十矩形波导(20)、第六直角梯形波导(21)、第十一矩形波导(22)从左至右顺次连接，第十一矩形波导(22)的右上端与右上弯曲窄臂波导(23)的左端相连，第十一矩形波导(22)的右下端与右下矩形窄臂波导(24)的左端相连，右上弯曲窄臂波导(23)的右端与右上等腰梯形输出波导(25)的左端相连，右上等腰梯形输出波导(25)的右端与基板(1)的右端相连，右下矩形窄臂波导(24)的右端与右下等腰梯形输出波导(26)的左端相连，右下等腰梯形输出波导(26)的右端与基板(1)的右端相连，第一输入端口(27)在左上等腰梯形输入波导(2)左侧、第二输入端口(28)在左下等腰梯形输入波导(3)左侧、第一输出端口(29)在右上等腰梯形输出波导(25)右侧，第二输出端口(30)在右下等腰梯形输出波导(26)左侧。...

【技术特征摘要】
1.一种阶梯形太赫兹波双通道滤波器，其特征在于基板(1)的上表面设有左上等腰梯形输入波导(2)、左下等腰梯形输入波导(3)、左上弯曲窄臂波导(4)、左下矩形窄臂波导(5)、第一矩形波导(6)、第一直角梯形波导(7)、第二矩形波导(8)、第二直角梯形波导(9)、第三矩形波导(10)、第三直角梯形波导(11)、第四矩形波导(12)、第五矩形波导(13)、第六矩形波导(14)、第七矩形波导(15)、第八矩形波导(16)、第四直角梯形波导(17)、第九矩形波导(18)、第五直角梯形波导(19)、第十矩形波导(20)、第六直角梯形波导(21)、第十一矩形波导(22)、右上弯曲窄臂波导(23)、右下矩形窄臂波导(24)、右上等腰梯形输出波导(25)、右下等腰梯形输出波导(26)、第一输入端口(27)、第二输入端口(28)、第一输出端口(29)和第二输出端口(30)；左上等腰梯形输入波导(2)的左端与基板(1)的左端相连，左上等腰梯形输入波导(2)的右端与左上弯曲窄臂波导(4)的左端相连，左下等腰梯形输入波导(3)的左端与基板的左端相连，左下等腰梯形输入波导(3)的右端与左下矩形窄臂波导(5)的左端相连，左上弯曲窄臂波导(4)的右端与第一矩形波导(6)的左上端相连，左下矩形窄臂波导(5)的右端与第一矩形波导(6)的左下端相连，第一直角梯形波导(7)、第二矩形波导(8)、第二直角梯形波导(9)、第三矩形波导(10)、第三直角梯形波导(11)、第四矩形波导(12)、第五矩形波导(13)、第六矩形波导(14)、第七矩形波导(15)、第八矩形波导(16)、第四直角梯形波导(17)、第九矩形波导(18)、第五直角梯形波导(19)、第十矩形波导(20)、第六直角梯形波导(21)、第十一矩形波导(22)从左至右顺次连接，第十一矩形波导(22)的右上端与右上弯曲窄臂波导(23)的左端相连，第十一矩形波导(22)的右下端与右下矩形窄臂波导(24)的左端相连，右上弯曲窄臂波导(23)的右端与右上等腰梯形输出波导(25)的左端相连，右上等腰梯形输出波导(25)的右端与基板(1)的右端相连，右下矩形窄臂波导(24)的右端与右下等腰梯形输出波导(26)的左端相连，右下等腰梯形输出波导(26)的右端与基板(1)的右端相连，第一输入端口(27)在左上等腰梯形输入波导(2)左侧、第二输入端口(28)在左下等腰梯形输入波导(3)左侧、第一输出端口(29)在右上等腰梯形输出波导(25)右侧，第二输出端口(30)在右下等腰梯形输出波导(26)左侧。2.如权利要求1所述的一种阶梯形太赫兹波双通道滤波器，其特征在于所述的基板(1)为二氧化硅材料，基板(1)的长度为15μm～17μm，宽度为4.5μm～6.5μm，厚度为2μm～4μm。3.如权利要求1所述的一种阶梯形太赫兹...

【专利技术属性】
技术研发人员：章乐，李九生，
申请(专利权)人：中国计量大学，
类型：发明
国别省市：浙江;33