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梯形齿状太赫兹波滤波器制造技术
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下载梯形齿状太赫兹波滤波器的技术资料
文档序号:8272711
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本发明公开了一种梯形齿状太赫兹波滤波器。它包括太赫兹波输入端、太赫兹波输出端、高阻硅基体;高阻硅基体上刻蚀有三个梯形齿状凹槽结构,三个梯形齿状凹槽结构的圆心组成一个等边三角形,梯形齿状凹槽结构包括外层等腰梯形凹槽、圆环型凹槽、内层扇形凹槽,...
该专利属于中国计量学院所有,仅供学习研究参考,未经过中国计量学院授权不得商用。
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