【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光学检测，特别是一种。
技术介绍
轴锥镜是一个焦线沿光轴方向的旋转对称光学元件，由于它的长焦深以及窄的横向宽度的特性，它被广泛应用于激光束整形、激光钻孔技术、光学检测、激光谐振器等方面，这就对轴锥镜的面形精度提出了严格的要求，所以需要一个精确的方法对其面形进行测 量。在先技术(David Kupka, Philip Schlup, and Randy A. Bartels, “Self-referencedinterferometry for the characterization of axicon lens quality，，，AppI.Opt. 47(9) :1200-1205(2008).)用于轴锥镜特性测量的一个简单的干涉仪。通过被测轴锥镜的光波与共线的参考光波发生干涉，利用产生的柱形对称自参考干涉图案获得被测轴锥镜面形的畸变。此方法需要利用反射镜的旋转来调整参考光束相对于测量光束的倾斜，使它们发生干涉，从中解出轴锥镜的面形信息，同时该方法只能测大锥角轴锥镜的面形。在先技术(Jun Ma, Christof Pruss, Matthia...
【技术保护点】
一种轴锥镜面形的测量装置，其特征在于该装置由移相干涉仪、平面标准镜、聚焦透镜和平面反射镜组成，其位置关系是：沿所述的移相干涉仪出射光束前进方向依次是所述的平面标准镜、聚焦透镜和平面反射镜，在所述的平面标准镜和聚焦透镜之间设置待测轴锥镜的插口。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：袁乔，曾爱军，张善华，黄惠杰，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：
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