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一种轴锥镜面形的测量装置和测量方法,该装置由移相干涉仪、平面标准镜、聚焦透镜和平面反射镜组成,其位置关系是:沿所述的移相干涉仪出射光束前进方向依次是所述的平面标准镜、聚焦透镜和平面反射镜,在所述的平面标准镜和聚焦透镜之间设置待测轴锥镜的插口...该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。
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一种轴锥镜面形的测量装置和测量方法,该装置由移相干涉仪、平面标准镜、聚焦透镜和平面反射镜组成,其位置关系是:沿所述的移相干涉仪出射光束前进方向依次是所述的平面标准镜、聚焦透镜和平面反射镜,在所述的平面标准镜和聚焦透镜之间设置待测轴锥镜的插口...