一种干涉仪用的高同轴度激光指示器及自校准方法技术

一种干涉仪用的高同轴度激光指示器及自校准方法，用于解决现有激光指示器出光方向与干涉仪光轴不一致的技术难题。该激光指示器包括基板、激光光源、二维调整架和平面反射镜，其中激光光源通过二维调整架固定在基板一侧，平面反射镜精确定位在基板另一侧，其镜面与激光初始出射方向成90°±4°夹角。通过独创的自校准方法：首先利用辅助反射镜建立基准光路，再调整平面反射镜使其与干涉仪光轴垂直，最后微调激光出射方向使其与干涉仪光轴严格同轴。本发明专利技术实现了秒级角度精度和亚毫米级偏心精度的对准，特别适用于大口径干涉仪和不可见光干涉仪的光学装调与检测，显著提高了装调效率和测量可靠性，同时解决了传统方法中存在的操作复杂、校准困难等问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光学测量与精密仪器，具体为一种干涉仪用的高同轴度激光指示器及自校准方法。要应用于高精度光学测量场景，包括但不限于干涉仪的光轴对准、光学元件(或系统)的高同轴度装调、波前误差检测等，特别适用于大口径(φ300mm以上)干涉仪和不可见光干涉仪的应用。

技术介绍

1、干涉仪作为高精度光学检测仪器，在平面、球面及非球面光学元件的波前测量、光学系统装调与检测等领域发挥着关键作用。激光指示器作为干涉仪的重要辅助工具，通过发射可见激光束，能够快速引导被测光学元件(或系统)的姿态调整，确保被测光学元件(或系统)与干涉仪光轴精准对准，尤其适用于长距离快速姿态调整和高精度光学装调。对于大口径(φ300mm以上)干涉仪测量前的元件对准操作，若缺少激光指示器的辅助，操作人员极易陷入“方向迷失”的困境，难以通过随机摆动的方式在短时间内完成大口径标准镜及大口径被测元件的精确对准。

2、然而，目前市面上的干涉仪用激光指示器(如美国zygo公司产品)存在显著局限性：受干涉仪标准镜调整架初始姿态随机性的影响，激光指示器的出光方向与干涉仪出射光束难以保持严格同轴，无本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种干涉仪用的高同轴度激光指示器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的激光指示器，其特征在于，所述基板(101)与干涉仪标准镜调整架(201)的连接接口采用快速定位结构，确保安装重复定位精度优于0.05mm。

3.一种基于权利要求1或2所述激光指示器的自校准方法，其特征在于，包括以下步骤：

【技术特征摘要】

1.一种干涉仪用的高同轴度激光指示器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的激光指示器，其特征在于，所述基板(101)与干涉仪标准镜调整架(201...

【专利技术属性】
技术研发人员：鲁棋，杨帆，刘世杰，王微微，裴惠熠，丁毅凡，王培力，高鹏，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：