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一种干涉仪用的高同轴度激光指示器及自校准方法,用于解决现有激光指示器出光方向与干涉仪光轴不一致的技术难题。该激光指示器包括基板、激光光源、二维调整架和平面反射镜,其中激光光源通过二维调整架固定在基板一侧,平面反射镜精确定位在基板另一侧,其镜...该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。
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一种干涉仪用的高同轴度激光指示器及自校准方法,用于解决现有激光指示器出光方向与干涉仪光轴不一致的技术难题。该激光指示器包括基板、激光光源、二维调整架和平面反射镜,其中激光光源通过二维调整架固定在基板一侧,平面反射镜精确定位在基板另一侧,其镜...