一种视觉系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种视觉系统，包括有R、G、B三色LED光源和光传感器，此外还设有将R、G、B三色LED光源折射到光传感器上的分光镜，所述的分光镜为一个或多个分光棱镜或分光反射镜，所述R、G、B三色LED光源为单组或多组R、G、B三色LED光源，所述R、G、B三色LED光源发出的三色光经物体反射后再经过分光镜折射后来到光传感器上并形成可视图像。本实用新型专利技术提供了一种对照明光的角度、光谱和色温，对观察物体的光谱特性、形状和背景的选取了达到了最佳的对比和检测效果，能更好的观察和识别物体，提高的基板的对准精度的新型视觉系统。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

一种视觉系统
本专利技术涉及一种视觉系统。
技术介绍
用于大规模集成电路和FPD/TFT/0LED/TP大屏显示行业的激光光刻设备。由激光光源、空间光调制器即SLM、光学系统、视觉系统、移动平台、控制电路、数据转换软件及服务器数据处理和传输系统组成。其中，视觉系统在基板的对准、观察调试及检查测试等工作中发挥着重大作用。但是现有的视觉系统使用效果不好，对照明光的角度、光谱和色温，对观察物体的 光谱特性、形状和背景的选取均达不到要求。
技术实现思路
本专利技术目的是克服了现有技术中的不足而提供一种对照明光的角度、光谱和色温，对观察物体的光谱特性、形状和背景的选取了达到了最佳的对比和检测效果，能更好的观察和识别物体，提闻的基板的对准精度的新型视觉系统。为了解决上述存在的技术问题，本专利技术采用下列技术方案一种视觉系统，其特征在于包括有R、G、B三色LED光源和光传感器，此外还设有将R、G、B三色LED光源折射到光传感器上的分光镜。如上所述的一种视觉系统，其特征在于所述的分光镜为一个或多个分光棱镜或分光反射镜，所述R、G、B三色LED光源为单组或多组R、G、B三色LED光源，所述R、G、B三色LED光源发出的三色光经物体反射后再经过分光镜折射后来到光传感器上并形成可视图像。如上所述的一种视觉系统,其特征在于所述的分光镜有两个，其分别为第一分光棱镜或第一分光反射镜I和第二分光棱镜或第二分光反射镜2 ;所述的R、G、B三色LED光源有两组，其分别为将第一分光棱镜或第一分光反射镜I围住的第一 R、G、B三色LED光源3和将发射出的光垂直射向第二分光棱镜或第二分光反射2的第二 R、G、B三色LED光源4 ;所述第二分光棱镜或第二分光反射2折射出来的光由光传感器5接收并形成可视图像。如上所述的一种视觉系统，其特征在于所述第一分光棱镜或第一分光反射镜I与第一 R、G、B三色LED光源3同轴；第二分光棱镜或第二分光反射镜2与第一分光棱镜或第一分光反射镜I同轴。如上所述的一种视觉系统，其特征在于所述光传感器5为CXD光传感器。如上所述的一种视觉系统，其特征在于所述第一 R、G、B三色LED光源3由多个R、G、B三色LED光源组成，多个R、G、B三色LED光源围成封闭图形状。如上所述的一种视觉系统，其特征在于所述多个R、G、B三色LED光源围成环形的封闭图形状。如上所述的一种视觉系统，其特征在于所述第一分光棱镜或第一分光反射镜I的光引擎6发身的激光通过率为97-98%，反射的激光为2-3%。如上所述的一种视觉系统，其特征在于所述第一分光棱镜或第一分光反射镜I的由第一 R、G、B三色LED光源3发射的光的通过率为50%。如上所述的一种视觉系统，其特征在于所述第二 R、G、B三色LED光源4为单个R、G、B三色LED光源组成。 本专利技术与现有技术相比有如下优点本专利技术能够通过采用R、G、B三色LED光源，能够改变照明光的角度、光谱和色温，对观察物体的光谱特性、形状和背景的选取达到了最佳的对比和检测效果，能更好的观察和识别物体，提闻的基板的对准精度。附图说明图I是本专利技术其中一种实施方式的示意图。图2是本专利技术另外一种实施方式的示意图。图3是分光曲线图。具体实施方式以下结合附图对本专利技术进行详细描述如图所示，一种视觉系统，包括有R、G、B三色LED光源和光传感器，此外还设有将R、G、B三色LED光源折射到光传感器上的分光镜。具体来说，所述的分光镜为一个或多个分光棱镜或分光反射镜。所述R、G、B三色LED光源为单组或多组R、G、B三色LED光源。所述R、G、B三色LED光源发出的三色光经物体反射后再经过分光镜折射后来到光传感器上并形成可视图像。当分光镜为一个时，所述R、G、B三色LED光源为单组的三色LED光源。当分光镜为多个时，所述R、G、B三色LED光源的组数与分光镜的个数相同。单组R、G、B三色LED光源可以是单个三色LED光源组成，也可以是由多个三色LED光源组成。作为本实施例的优选方式，所述分光镜为两个，其分别为第一分光棱镜或第一分光反射镜I和第二分光棱镜或第二分光反射镜2。所述的R、G、B三色LED光源为两组，其分别为将第一分光棱镜或第一分光反射镜I围住的第一 R、G、B三色LED光源3和将发射出的光垂直射向第二分光棱镜或第二分光反射2的第二 R、G、B三色LED光源4。所述第二分光棱镜或第二分光反射2折射出来的光由光传感器5接收并形成可视图像。在本实施例中，所述光传感器5为CCD光传感器。米用二个分光镜时,效果较佳。这样，发射激光的光引擎6可放置在第一分光棱镜或第一分光反射镜I的正上方，光引擎6发射的激光大部分穿过第一分光棱镜或第一分光反射镜1，还有小部分反射经过第二分光棱镜或第二分光反射2,从而到达光传感器5。而需要对准和光刻的物体7则放置在第一分光棱镜或第一分光反射镜I正下方。作为本实施例的优选方式，所述第一分光棱镜或第一分光反射镜I与第一 R、G、B三色LED光源3同轴。第二分光棱镜或第二分光反射镜2与第一分光棱镜或第一分光反射镜I同轴。作为本实施例的优选方式，所述第一 R、G、B三色LED光源3由多个R、G、B三色LED光源组成，多个R、G、B三色LED光源围成封闭图形状。更优的，多个R、G、B三色LED光源围成环形的或其它任意形状的封闭图形状。第二 R、G、B三色LED光源4为单组R、G、B三色LED光源。作为本实施例的优选方式，如图3中所不，T为光的通过率，λ为光波长,激光光刻的波长在35(Γ450纳米间，光引擎发射的激光经过第一分光棱镜或第一分光反射镜I照射到物体上后反射2°/Γ3%的激光，物体吸收了 97°/Γ98%的激光。其中被反射的激光经过第一分光棱镜或第一分光反射镜I后折射到另一同轴分光反射镜或分光棱镜再到CCD镜头形成图像。一组环形或任意封闭图形R、G、B三色组合的LED光源发射的光为可见光，波长在450^650纳米间，LED光源发出的光照射到物体上其图形反射到分光反射镜，经分光反射镜或分光棱镜折射到另一同轴分光反射镜或分光棱镜，再照射到CCD镜头上被接收成像，该可见光的在第一分光棱镜或第一分光反射镜I的通过率为50%。综上，第一 R、G、B三色LED光源3，由一排红、绿、蓝LED灯依次循环排列组成，作 为该视觉系统的主要灯源，圆环中心与第一分光棱镜或第一分光反射镜同轴，其可调照明颜色及可调色温环形灯360度照明，从侧面的不同角度照射物体，根据不同物体的光谱特性改善其对比度，以达到最佳照明效果。其工作原理为I、基板对准第一 R、G、B三色LED光源3照射到物体7基板上，物体7反射的光经过第一分光棱镜或第一分光反射镜I和第二分光棱镜或第二分光反射镜2后照射到CCD光传感器并接收成像。第二 R、G、B三色LED光源4分别经过第二分光棱镜或第二分光反射镜2和第一分光棱镜或第一分光反射镜后照射到物体7上，物体7反射的光再经过第一分光棱镜或第一分光反射镜I和第二分光棱镜或第二分光反射镜2后照射到CCD光传感器并接收成像，这样侧光束与同轴光束根据不同物体的光谱特性，改善对比度以达到最佳照射效果，C⑶光传感器进行图像识别。CXD光传感器包括一个镜头及传感器。LED三色光源照射的图形通过镜头能被传感器识别，继而在电脑本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种视觉系统，其特征在于包括有R、G、B三色LED光源和光传感器，此外还设有将R、G、B三色LED光源折射到光传感器上的分光镜。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：梅文辉，杜卫冲，曲鲁杰，
申请(专利权)人：中山新诺科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：