【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种蚀刻泵，其特征在于，包括泵头、法兰结构、穿过所述法兰结构后固定于所述泵头的输出轴上的泵轴，以及固定于所述法兰结构下方并设于所述泵轴外围的泵头支撑体，于所述法兰结构以下、泵头支撑体与泵轴之间的空间内固设有一填充件。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈德和，
申请(专利权)人：东莞宇宙电路板设备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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