复制光栅的分离夹具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种复制光栅的分离夹具，包括：工作台(1)用于放置母光栅(11)；真空泵装置(17)与所述工作台(1)连接，用于将所述母光栅(11)固定于所述工作台(1)上；复制基坯(12)设置于所述母光栅(11)上，以及一对夹板(5、6)设置于所述工作台上，一对所述夹板与所述复制基坯(12)的两侧相平行，用于夹住所述复制基坯(12)。本实用新型专利技术将人工分离和机械方法巧妙地结合在一起，对母光栅(11)和复制基坯(12)采用分离固定的方式，避免了刮削时留下的灰印和损伤光栅表面，对于各种基底材料的平面光栅都适于分离。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及复制平面光栅的分离技术，具体涉及一种复制光栅的分离夹具。
技术介绍
分离工艺是复制平面光栅的最后一道工序，对复制光栅的质量和性能有极大的影响。如果分离时用力不均匀或者方向掌握的不好，会造成光栅表面损伤以及分辨率和衍射效率等重要参数下降。若垂直于光栅刻槽分离，还会造成槽型角度的变化，使定向波长发生改变，严重的可改变10(Tl50nm.当母光栅和复制基坯之间的环氧树脂胶固化好之后，由于两者之间镀有油层，所以两者较好分离。但是母光栅和复制基坯之间的多余胶液会充满光栅的边缘和倒角处，使两者牢固地结合在一起，所以分离起来较为困难。因此，良好的分离工艺是需要克服上述现象，使复制基坯和母光栅无损伤地分离开来。 目前，平面复制光栅的分离方法主要有人工分离法和热梯度分离法两种。人工分离法是将小刀或刀片插入垂直于光栅刻槽方向的分界处，对光栅倒角和边缘处所积存的固化环氧树脂胶进行刮削，反复多次之后，在一定力的作用下，复制基坯和母光栅会自行分开。人工分离法的优点是余胶的清除较为彻底，有助于分离。但由于刀片的锋利性和人为控制的不定因素，会在刮削和分离的瞬间对光栅造成不同程度的损伤，轻者会在光栅表面本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种复制光栅的分离夹具，其特征在于，包括：工作台(1)，用于放置母光栅(11)；真空泵装置(17)，与所述工作台(1)连接，用于将所述母光栅(11)固定于所述工作台(1)上；复制基坯(12)，设置于所述母光栅(11)上，以及一对夹板(5、6)，设置于所述工作台上，一对所述夹板与所述复制基坯(12)的两侧相平行，用于夹住所述复制基坯(12)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李亭，黄元申，李柏承，吴叶华，张大伟，周晟，凌进中，杨惠芳，王琦，
申请(专利权)人：上海理工大学，
类型：实用新型
国别省市：