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本实用新型公开了一种复制光栅的分离夹具，包括：工作台(1)用于放置母光栅(11)；真空泵装置(17)与所述工作台(1)连接，用于将所述母光栅(11)固定于所述工作台(1)上；复制基坯(12)设置于所述母光栅(11)上，以及一对夹板(5、6)...
该专利属于上海理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海理工大学授权不得商用。

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