利用加工距离的原位测量的材料加工装置制造方法及图纸

技术编号:8243398 阅读:188 留言:0更新日期:2013-01-25 01:04
本发明专利技术涉及一种利用光束发生器(5)的加工光束(4)并且利用光束发生器(5)和工件(6)之间的加工距离(a)的原位测量的材料加工装置(1)。为此,材料加工装置(1)具有利用加工光束(4)的加工激光器(13)。包括具有扫描器镜(31,32)的二维偏转装置的激光扫描器(14)布置在加工激光器(13)的下游。设置用于改变加工距离(a(t))的自动重聚焦装置。包括分光计(17)和至少两个传感器光源的传感器装置(16)产生测量光束(18),测量光束(18)利用激光扫描器(14)和透镜系统(19)共同地感测工件(6)的加工区域(20),同时记录工件距离(a)。传感器光源(11,12)的测量光束(18)被线性偏振,并且利用光耦合元件(21)在准直状态以交叉偏振方向耦合到材料加工装置(1)的激光扫描器(14)的加工光束(25)的光路中。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种利用光束发生器的加工光束并利用光束发生器和工件之间的加工距离的原位测量的材料加工装置。为此,该材料加工装置具有利用近红外加工光束的加工激光器。包括具有扫描器镜的二维偏转装置的激光扫描器布置在加工激光器的下游。设置了用于改变加工距离的自动重聚焦装置。
技术介绍
这种类型的材料加工装置从EP I 977 850 Al可知。图8示出了根据现有技术的这种类型的材料加工装置3的部分透视原理图。在透视图中示出了该材料加工装置3利用光束发生器5的加工光束4并利用加工头7和工件6之间的加工距离的原位测量来加工略 加工激光器。加工头7由工业机器人8操纵。随时间改变加工距离a(t)的自动重聚焦装置设置在材料加工装置3中,以在沿箭头A的方向引导工件6时追踪例如工件6的曲线9。为此,在加工头7中设置用于记录断层的光学相干断层扫描装置10。该材料加工装置3的缺点之一是通过光纤传送用于断层记录的测量信号。在操作过程中的振动的情况下,光纤中的振荡可能改变光谱透射,因此可能改变各偏振模式之间的混合比和偏振状态,从而损害测量结果和断层记录。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有技术的不足并在加工本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:马丁·斯科恩勒伯
申请(专利权)人:普雷茨特激光技术有限公司
类型:
国别省市:

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