下载利用加工距离的原位测量的材料加工装置的技术资料

文档序号:8243398

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本发明涉及一种利用光束发生器(5)的加工光束(4)并且利用光束发生器(5)和工件(6)之间的加工距离(a)的原位测量的材料加工装置(1)。为此,材料加工装置(1)具有利用加工光束(4)的加工激光器(13)。包括具有扫描器镜(31,32)的二...
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