一种在扫描电镜中进行原位微观力学、微结构、成分一体化研究的装置制造方法及图纸

一种在扫描电镜中进行原位微观力学、微结构、成分一体化研究的装置属于材料微结构与性能原位表征领域。本装置采用双梯形丝杠传动系统，装置刚度大，测试精度高；在扫描电镜中运行平稳，机械噪声小，对扫描电镜成像干扰低；梯形丝杠具有自锁性能，可以在任意时刻暂停测试和启动测试，测试数据连续性好；样品夹具具有旋转功能，可以在材料拉伸/压缩力学性能测量的同时，在同一微区域满足扫描电子束成像、EDS和EBSD一体化测试；测试装置设计的夹具支撑架，样品夹具和样品具有完全对称结构，保证样品的受到完全对称的拉伸/压缩应力作用，样品的几何中心，即变形中心始终位于电子束正下方，便于原位追踪动态研究和高质量微观扫描图像获得。

【技术实现步骤摘要】
201520896619

【技术保护点】
一种在扫描电镜中进行原位微观力学、微结构、成分一体化研究的装置，其特征在于该装置包括直流微电机驱动器，主动齿轮与从动齿轮，蜗轮蜗杆，梯形丝杠，样品夹持系统，载荷测量装置、位移测量装置、与扫描电镜连接的过真空法兰，信号输入输出接头，数据采集与处理系统；所述的直流微电机驱动器，通过减速器，驱动主动齿轮与从动齿轮配合传动；从动齿轮驱动蜗杆和第一蜗轮，第二蜗轮；第一蜗轮带动第一梯形丝杠实现旋转运动，第二蜗轮带动第二梯形丝杠实现旋转运动；梯形丝杠旋转运动带动紧固在第一样品夹具支撑架和第二样品夹具支撑架上面的丝杠螺母副实现往复直线运动，固定在第一样品夹具支撑架上面的第二样品夹具与样品夹具支架一起往复运动，...

【技术特征摘要】
1.一种在扫描电镜中进行原位微观力学、微结构、成分一体化研究的装置，其特征在于该装置包括直流微电机驱动器，主动齿轮与从动齿轮，蜗轮蜗杆，梯形丝杠，样品夹持系统，载荷测量装置、位移测量装置、与扫描电镜连接的过真空法兰，信号输入输出接头，数据采集与处理系统；
所述的直流微电机驱动器，通过减速器，驱动主动齿轮与从动齿轮配合传动；从动齿轮驱动蜗杆和第一蜗轮，第二蜗轮；第一蜗轮带动第一梯形丝杠实现旋转运动，第二蜗轮带动第二梯形丝杠实现旋转运动；
梯形丝杠旋转运动带动紧固在第一样品夹具支撑架和第二样品夹具支撑架上面的丝杠螺母副实现往复直线运动，固定在第一样品夹具支撑架上面的第二样品夹具与样品夹具支架一起往复运动，和固定在第二样品夹具支撑架的第一样品夹具与样品夹具支架一起往复运动，
第一样品夹具支撑架端部分别与第一精密导轨滑块，和第一导轨连接，第二样品夹具支撑架端部分别与第二精密导轨滑块，和第二导轨连接，第一导轨与第二导轨安装在样品台底座上；
所述的载荷测量装置固定于载荷传感器基座上，载荷测量装置与第二样品夹具实现刚性连接，当第二样品夹具受到拉力或压力作用时，直接将力传递到载荷测量装置上；
所述的位移测量装置在第一样品夹具支撑架和第...

【专利技术属性】
技术研发人员：张跃飞，王晋，李吉学，张泽，
申请(专利权)人：浙江大学，北京工业大学，
类型：新型
国别省市：浙江;33