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一种在扫描电镜中进行原位微观力学、微结构、成分一体化研究的装置制造方法及图纸
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下载一种在扫描电镜中进行原位微观力学、微结构、成分一体化研究的装置的技术资料
文档序号:13528859
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一种在扫描电镜中进行原位微观力学、微结构、成分一体化研究的装置属于材料微结构与性能原位表征领域。本装置采用双梯形丝杠传动系统,装置刚度大,测试精度高;在扫描电镜中运行平稳,机械噪声小,对扫描电镜成像干扰低;梯形丝杠具有自锁性能,可以在任意时...
该专利属于浙江大学;北京工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学;北京工业大学授权不得商用。
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