【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于先进光学制造与检测领域，涉及大口径窗口检测装置及检测方法，特别涉及一种大口径窗口检测方法。
技术介绍
窗口在现在的光学系统中有着不可替代的作用，随着科技及光学制造技术的不断发展，窗口口径在不断的增大，窗口精度要求也越来越高。检测精度制约加工精度，有高精度的检测方法才有高精度的加工，才有高精度的窗口。然而，对口径为I米及以上的大口径窗口进行高精度定量检测仍然存在很多挑战。 在窗口加工阶段，通常先加工窗口的第一表面，当这个表面精度达到要求后，在进入第二个表面的加工。窗口等光程修磨的主要工作也是集中在第二个工作面的面形修磨。由于实际上能得到的光学玻璃式熔石英玻璃的光学均匀性/折射率微差分布状态很难达到理想的呈中心对称的单调曲线，第二个工作面修磨后的面形并不是理论上的平面式球面，而是严格意义下的非球面。使用大口径平面干涉仪检测整体的透射波前，根据透射波前的检测结果来指导第二个工作面的抛光加工。随着窗口口径的增大，要检测窗口的整体透射波前需要大口径的平面干涉仪，但是制造大口径平面干涉仪存在很大困难，口径大于800mm更是难于实现。为了检测大口径窗口整体透射波...
【技术保护点】
一种大口径窗口检测装置，其特征在于：包括相移干涉仪（1）、补偿器（2）、被测窗口（3）、标准球面镜（4）、调整机构（5）及计算机系统（6）；计算机系统（6）与相移干涉仪（1）连接，补偿器（2）位于相移干涉仪（1）和被测窗口（3）之间，被测窗口（3）放置在补偿器（2）位于与标准球面镜（4）之间，同时被测窗口（3）与调整机构（5）连接；补偿器（2）补偿被测窗口（3）放入相移干涉仪（1）与标准球面镜（4）组成的自准直光路中所引入的象差；被测窗口（3）通过调整机构（5）进行调节，使相移干涉仪（1）获得被测窗口（3）上有相互重叠区域的子区域透射波前信息，计算机系统（6）对所得到的所述...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：闫锋涛，范斌，伍凡，侯溪，万勇建，
申请(专利权)人：中国科学院光电技术研究所，
类型：发明
国别省市：
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