下载一种大口径窗口检测装置及检测方法的技术资料

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一种大口径窗口检测装置及检测方法,基于补偿器和子孔径拼接原理,包括相移干涉仪、补偿器、被测窗口、标准球面镜、调整机构及计算机系统;计算机系统与相移干涉仪连接,补偿器补偿被测窗口放入相移干涉仪与标准球面镜组成的自准直光路中所引入的象差;被测窗...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

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