一种压电-电液混合驱动臂及其控制方法技术

本发明专利技术公开了一种压电-电液混合驱动臂及其控制方法，属于驱动臂技术领域。本发明专利技术包括工业计算机、功率放大器、光栅传感器、压电驱动器、连接杆和输出杆，它还包括液压缸、三位四通电液伺服阀、液压泵和油箱；缸体内水平方向的活塞杆自由端固定有压电驱动器，该压电驱动器内设置有位移传感器，压电驱动器另一端与输出杆连接；光栅传感器的标尺光栅固定安装在液压缸的缸体上，光栅传感器的指示光栅经连接杆安装在输出杆上；光栅传感器、压电驱动器均与工业计算机连接，所述的工业计算机通过所述的功率放大器与所述的位移传感器连接。本发明专利技术的技术方案可以有效实现驱动臂的高精度定位要求且同时满足当代精密加工和精密测量的技术需求。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于驱动臂
，更具体地说，涉及一种采用压电-电液混合伺服驱动的大范围纳米级定位驱动臂。
技术介绍
随着现代科学技术的不断发展，航空航天宇航技术、生物工程、微电子工程、纳米科学与技术等各个领域，对定位装置的行程和精度提出了更高的要求，例如，在国防工业中大量复杂自由曲面零部件的加工与测量，在工业自动化中半导体、平板显示器等加工都需要大范围高精度且快速响应实时连续可调的精密定位装置。目前的精密定位装置多采用旋转伺服电机驱动和精密滚珠丝杠传动的方案或部分采用直线电机直接驱动的方法，其定位精度一般局限在微米级。以压电陶瓷驱动器为代表的微定位平台，其定位精度能够达到纳 米级，但行程微小，通常只能达到几十微米。如何解决大范围和高精度之间的矛盾，实现大范围运动系统的高精度定位已成为当今精密数控加工和精密测量等领域急需突破的重要关键技术之一。目前，一种常见的解决方法就是采用双驱动源(宏/微驱动)定位机构(孙立宁，董为，杜志江；中国机械工程第16卷第I期2005年I月上半月；宏/微双重驱动机器人系统的研究现状与关键技术)。双驱动源定位机构是采用宏/微双驱动机构以实现大范围、纳米级的定位本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电？电液混合驱动臂，它包括工业计算机（1）、功率放大器（2）、光栅传感器（7）、压电驱动器（4）、连接杆（5）和输出杆（3），其特征在于，它还包括液压缸（8）、三位四通电液伺服阀（9）、液压泵（10）和油箱（11）；所述的液压缸（8）的缸体位置固定，缸体内水平方向的活塞杆自由端固定有压电驱动器（4），该压电驱动器（4）内设置有位移传感器（6），所述的压电驱动器（4）另一端与输出杆（3）连接；所述的光栅传感器（7）的标尺光栅固定安装在液压缸（8）的缸体上，光栅传感器（7）的指示光栅经连接杆（5）安装在输出杆（3）上；所述的光栅传感器（7）、压电驱动器（4）均与工业计算机（1）的输入端连接，...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：许有熊，朱松青，韩亚丽，陈茹雯，刘娣，郝飞，
申请(专利权)人：南京工程学院，
类型：发明
国别省市：