【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种利用X射线衍射(XRD)对晶体进行测试的方法，尤其涉及一种利用X射线衍射(XRD)对单晶衬底上生长的晶格失配材料进行测试的方法。
技术介绍
X射线衍射是一种常用的对晶体进行分析测试的方法，通过分析晶体的X射线衍射图谱，可以获得晶体的晶格常数、组分、厚度、应变、应力、弛豫度等信息。已知两种用于晶体X射线衍射测试的扫描方式。一种为ω-2θ扫描方式,其中，ω轴与2Θ轴以I : 2的速度比联动，ω轴对应X射线入射的方向，2 Θ轴对应衍射线的方向。通过ω-2θ扫描得到ω-2θ曲线，用于样品分析。另一种扫描方式为倒易空间图 (Reciprocal Space Maps,简称RSM)扫描，是将<^rel扫描(即摇摆曲线扫描)与ω-2 Θ扫描相结合的扫描方式，扫描后得到倒易空间图(RSM图)，用于样品分析。采用ω-2θ扫描测试速度快，但是对包含多层材料的晶体样品进行测试时，各层的对应晶面必须平行，如果各层的对应晶面不平行，则采用ω-2θ扫描不能够得到各层材料的衍射峰，因此无法用该方式扫描。采用RSM扫描得到的RSM图包含的信息量大，可以反映出材料的晶面间...
【技术保护点】
一种利用X射线衍射对晶体进行测试的方法，所述晶体包括单晶衬底、在单晶衬底上生长的至少一层晶格失配材料，所述方法包括以下步骤：a)对于同批次生产的多个同种晶体样品进行测试时，对首个样品进行倒易空间图RSM扫描，根据扫描得到的RSM图，计算ω轴与2θ轴之间的运动速度比1∶n；b)对于其余每个样品，采用ω轴与2θ轴以1∶n的速度比联动的方式进行扫描，根据得到的扫描曲线，计算所述至少一层晶格失配材料的晶面间距。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：吴志猛，孙超，魏郝然，王伟明，宋红，
申请(专利权)人：国电科技环保集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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