【技术实现步骤摘要】
本技术涉及ー种应用X射线衍射原理为蓝宝石单晶材料表面缺陷探測的光机电一体化测试系统，尤其是ー种蓝宝石表面缺陷测定系统。
技术介绍
随着科技进步，近十年来蓝宝石晶体材料得到了很大发展。而蓝宝石单晶材料生长的质量、完美程度将决定晶体及其制成器件的性质。因此，如何探测蓝宝石晶体表面缺陷，进而控制和提高蓝宝石晶体材料生长和加工质量，已成为急需解决的问题
技术实现思路
本技术的主要目的就在于提供一套能够探测蓝宝石单晶材料表面缺陷的检测系统。该系统通过无污染的X射线，经过计算机软件处理后获得蓝宝石单晶材料单谱回摆曲线，通过对回摆曲线的分析可确定蓝宝石晶体的表面缺陷。采用的技术方案是蓝宝石表面缺陷测定系统，包括X射线发生器、闪烁探測器、晶片样品旋转台及计算机控制系统；所述的X射线发生器中设置有X射线管和単色器，X射线管的出ロ射线照射在直立的単色器上，经单色器过滤后的Ka射线照射在晶片样品旋转台上的被测蓝宝石样品晶片上，并在被测晶片中心交于一点，产生蓝宝石晶片衍射光线，蓝宝石晶片衍射光线被探测器接收；探測器的接收的信号经数据采集器后进入计算机系统，由计算机系统中的应用软件进行谱线处理后得到蓝宝石样品晶片的回摆曲线。所述的晶片样品旋转台由一步进电机驱动精密蜗轮副减速，晶片样品旋转台转动，步进电机由エ业用PC机控制。上述的X射线发生器中的X射线管为30KV · ImA的铜靶X射线管。上述的采集器模拟量采样频率不小于7200次/秒。本技术具有不破坏样品、方便、迅速、精度闻等优点。附图说明图I为本技术的系统图。具体实施方式本技术的蓝宝石表面缺陷测定系统，包括X射线发生器2、闪烁探測器...
【技术保护点】
蓝宝石表面缺陷测定系统，包括X射线发生器、闪烁探测器、晶片样品旋转台及计算机控制系统；其特征在于所述的X射线发生器中设置有X射线管和单色器，X射线管的出口射线照射在直立的单色器上，经单色器过滤后的Ka射线照射在晶片样品旋转台上的被测蓝宝石样品晶片上，并在被测晶片中心交于一点。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：甄伟，关守平，赵松彬，
申请(专利权)人：丹东新东方晶体仪器有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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