金属件清洗方法及涂敷装置制造方法及图纸

本发明专利技术的目的在于在金属件（3）中，能够使现有技术中由于振动波（基于振动波的空穴现象）的传播不充分而残留的粘着物浮起，在短时间内得到期望的清洗结果，其中该金属件（3）内形成有在该金属件（3）宽度方向上长、且在该金属件（3）的前端开口的缝隙（7）。本发明专利技术提供的金属件的清洗方法包括：使金属件前端（9）浸渍在清洗槽（11）内的施加了振动波的清洗液（L）中，使该清洗液（L）通过缝隙（7）向金属件内部流入；由此状态，使气体在缝隙（7）的宽度方向的全长通过缝隙（7）流入金属件内部；其后，使金属件前端（9）浸渍在清洗槽（11）内的施加了振动波的清洗液（L）中，使该清洗液L通过缝隙（7）向金属件内部流入。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种清洗向基板吐出涂敷液的金属件的金属件清洗方法、以及能够实施该清洗方法的涂敷装置。
技术介绍
在液晶显示器等平板显示器、太阳能电池面板等中使用形成有像素、电路图案等的基板，这样的基板例如通过使用涂敷抗蚀液(涂敷液)而进行的光刻蚀技术来制作。作为对基板涂敷液的装置，已知有具有在宽度方向上较长的缝隙形成于内部的金属件的涂敷装置。根据该涂敷装置，在使金属件相对于基板水平移动的同时，从缝隙吐出涂敷液，从而能够在基板表面形成涂敷液的膜。 利用该涂敷装置长时间持续进行涂敷作业时，有时涂敷液的固化物或者混入涂敷液的异物等粘着物会粘着在缝隙、缝隙开口的金属件前端、以及金属件前端的外侧面等，这些粘着物可能会影响涂敷液的吐出，从而产生涂敷缺陷。因此，有人提出了例如专利文献I中所公开的清洗金属件的清洗装置。该清洗装置包括储存清洗液并用于将金属件前端浸溃在该清洗液中的清洗槽；以及用于使清洗液流入金属件(缝隙)的流路。并且，在该流路的途中设置有对清洗液施加超声波振动的超声波振荡器，通过该超声波振动使金属件内部粘着的粘着物浮起，提高清洗效果。现有技术文献专利文献专利文献I :日本专利技术专利公开第2007 - 253093号公报(参照图I、图2、图3)
技术实现思路
采用专利文献I所述的清洗装置时，由于对清洗液施加超声波振动的位置在清洗液流动的流路的途中远离金属件(缝隙)，因此超声波的振动能量衰减，不能期待其提高对金属件的清洗效果。因此，为了使对清洗液施加超声波振动的位置在金属件前端附近，例如，考虑在用于储存清洗液且用于使金属件前端浸溃在该清洗液中的清洗槽的底部设置振子，通过该振子对清洗液施加振动波(超声波振动)，从而进行金属件的清洗。但是，如上所述，利用在浸溃在清洗液中的金属件前端附近设置的振子，只对清洗液施加振动波(超声波振动)，虽然能够清洗缝隙开口的金属件前端及金属件前端的外侧面，但是，对清洗液施加的振动波(基于振动波的空穴现象)不能到达开口宽度非常窄的缝隙(特别是离金属件前端远的缝隙内部)，所以不能够清洗缝隙的粘着物。因此，为使对清洗液施加的振动波(基于振动波的空穴现象)到达金属件的缝隙(缝隙内部)，可以考虑从金属件前端吸引施加了振动波(超声波振动)的清洗液的方法。但是，粘着有粘着物的区域由于粘着物的阻力，使清洗液难以流动，因此，仅从金属件吸引含空穴现象的清洗液，清洗液避开粘着物而流动，空穴现象不能到达粘着物，因而不能有效地清洗粘着物。即，在现有技术中，清洗作用弱，在宽度方向上较长的缝隙(金属件)的整体上难以得到没有斑点的清洗结果，另外，为了得到期望的清洗结果，需要反复进行清洗，需要大量的清洗时间。由于需要至重新开始涂敷作业为止的时间，因而妨碍生产效率的提高。因此，本专利技术的目的在于提供一种能够使现有技术中由于振动波(基于振动波的空穴现象)的传播不充分而残留的粘着物浮起、能够在短时间内效率良好地得到没有斑点的期望的清洗结果的金属件清洗方法，以及能够实施该清洗方法的涂敷装置。本专利技术的金属件的清洗方法的特征在于，该金属件内形成有在该金属件宽度方向上长、且在该金属件的前端开口的缝隙，该清洗方法包括 第I流入工序，使金属件前端浸 溃在清洗槽内的施加了振动波的清洗液中，使该清洗液通过所述缝隙向金属件内部流入；气体流入工序，从在所述第I流入工序中使清洗液向金属件内部流入的状态，使气体在缝隙的宽度方向的全长通过所述缝隙流入所述金属件内部；以及第2流入工序，在所述气体流入工序后，使所述金属件前端浸溃在所述清洗槽内的施加了振动波的清洗液中，使该清洗液通过所述缝隙向所述金属件内部流入。根据本专利技术，在第I流入工序中，通过使施加了振动波的清洗液向金属件内部流入，能够使粘着在金属件内部的粘着物浮起。并且，通过从使清洗液向金属件内部流入的状态，使气体在缝隙的宽度方向的全长通过所述缝隙流入金属件内部，能够使气体和清洗液的气液界面一齐在缝隙的宽度方向的全长移动。其结果，在金属件内部获得粘着物剥离效果的同时，在第2流入工序中，在再次使施加了振动波的清洗液流向金属件内部之际，振动波(基于振动波的空穴现象)传播的状态(路径)被从第I流入工序改变，能够使因振动波的传播不充分而残留的粘着物浮起。其结果，能够在短时间内得到期望的清洗结果。另外，在所述气体流入工序中，优选通过使所述金属件前端与所述清洗液的液面分离，从而使气体在所述缝隙的宽度方向的全长通过所述缝隙流入所述金属件内部。此时，只要从使金属件前端浸溃在洗槽内的清洗液中的状态进行将该金属件前端和清洗液的液面分离的操作，就能够简单地使气体在缝隙的宽度方向的全长通过缝隙流入金属件内部。从第I流入工序向气体流入工序转移时，由于向金属件内部一侧流动的清洗液中含有较多的气体，因此，由于气体溶解在清洗液中，因而在将该清洗液直接返回到清洗槽之后进行第I流入工序(或者第2流入工序)时，是对溶解气体量增加的清洗液施加振动波。此时，可能由于溶解气体而阻碍清洗液中振动波的空穴现象的产生，从而使得利用空穴现象使粘着物浮起的效果可能变弱。因此，优选所述金属件的清洗方法还包括气体排出工序，通过被在所述第I流入工序及所述第2流入工序中从所述缝隙流入的清洗液充满的流路，将所述清洗液返回至所述清洗槽，并从所述流路将在所述气体流入工序中流入的气体通过与所述缝隙不同的排出流路排出。“返回到清洗槽的清洗液”可以是在第I流入工序及第2流入工序中从缝隙流入的清洗液，或者也可以是新的清洗液。使从缝隙流入的清洗液返回时，使该清洗液中所含的气体通过排出流路排出。使新的清洗液返回时，使从缝隙流入的清洗液中所含的气体与该清洗液一起通过排出流路排出，新的清洗液代替该清洗液返回到清洗槽。此时，即使将清洗液返回到清洗槽，也能够抑制清洗槽内的清洗液的溶解气体量增加，即使之后进行第I流入工序(或者第2流入工序)，也能够防止利用振动波使粘着物浮起的效果减弱。另外，通过对清洗液施加振动波而使异物在清洗槽内浮遊时，根据第I流入工序及第2流入工序中的一方或者双方，该清洗槽内的浮遊异物有可能随清洗液一同被吸进金属件内部一侧。因此，优选所述金属件的清洗方法还包括整理工序，在使所述金属件前端浸溃在所述清洗槽内的清洗液中的状态下，在所述第I流入工序及所述第2流入工序中的一方或者双方中使清洗液向所述金属件内部一侧流入后，从所述缝隙向该清洗槽吐出(从缝隙流入的或新的)清洗液；在该整理工序中，在对所述清洗槽中的清洗液施加振动波的状态下，使浸溃在该清洗槽内的清洗液中的所述金属件前端从该清洗液的液面离开。此时，即使清洗槽内的浮遊异物与清洗液一同被吸入到金属件内部一侧，并粘着 在金属件内部的接液面(液体接触面)，也能够利用整理工序，通过使(从缝隙流入的或者新的)清洗液向清洗槽吐出，从而使粘着在金属件内部的接液面的清洗槽内的异物利用振动波而浮起，并从金属件内部吐出。而且，由于在对清洗槽中的清洗液施加振动波的状态下，使浸溃在清洗槽内的清洗液中的金属件前端离开该清洗液的液面，因此，能够防止浮游在所述清洗槽内的异物再次粘着在金属件内部和金属件前端。其结果，清洗作业结束后，能够不借助人手，迅速地向涂敷作业转移。另外，在清洗槽内浮遊的异物具有利用振动波容易在缝隙内浮遊并容易向金属件内部侵入的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种金属件的清洗方法，该金属件内形成有在该金属件宽度方向上长、且在该金属件的前端开口的缝隙，该清洗方法包括：第1流入工序，使金属件前端浸渍在清洗槽内的施加了振动波的清洗液中，使该清洗液通过所述缝隙向金属件内部流入；气体流入工序，从在所述第1流入工序中使清洗液向金属件内部流入的状态，使气体在缝隙的宽度方向的全长通过所述缝隙流入所述金属件内部；以及第2流入工序，在所述气体流入工序后，使所述金属件前端浸渍在所述清洗槽内的施加了振动波的清洗液中，使该清洗液通过所述缝隙向所述金属件内部流入。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：林田健儿，川竹洋，堀内展雄，伊藤祯彦，釜谷学，
申请(专利权)人：东丽株式会社，东丽工程株式会社，
类型：发明
国别省市：