金属件清洗方法及涂敷装置制造方法及图纸

本发明专利技术的目的在于在金属件（3）中，能够使现有技术中由于振动波（基于振动波的空穴现象）的传播不充分而残留的粘着物浮起，在短时间内得到期望的清洗结果，其中该金属件（3）内形成有在该金属件（3）宽度方向上长、且在该金属件（3）的前端开口的缝隙（7）。本发明专利技术提供的金属件的清洗方法包括：使金属件前端（9）浸渍在清洗槽（11）内的施加了振动波的清洗液（L）中，使该清洗液（L）通过缝隙（7）向金属件内部流入；由此状态，使气体在缝隙（7）的宽度方向的全长通过缝隙（7）流入金属件内部；其后，使金属件前端（9）浸渍在清洗槽（11）内的施加了振动波的清洗液（L）中，使该清洗液L通过缝隙（7）向金属件内部流入。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种清洗向基板吐出涂敷液的金属件的金属件清洗方法、以及能够实施该清洗方法的涂敷装置。
技术介绍
在液晶显示器等平板显示器、太阳能电池面板等中使用形成有像素、电路图案等的基板，这样的基板例如通过使用涂敷抗蚀液(涂敷液)而进行的光刻蚀技术来制作。作为对基板涂敷液的装置，已知有具有在宽度方向上较长的缝隙形成于内部的金属件的涂敷装置。根据该涂敷装置，在使金属件相对于基板水平移动的同时，从缝隙吐出涂敷液，从而能够在基板表面形成涂敷液的膜。 利用该涂敷装置长时间持续进行涂敷作业时，有时涂敷液的固化物或者混入涂敷液的异物等粘着物会粘着在缝隙、缝隙开口的金属件前端、以及金属件前端的外侧面等，这些粘着物可能会影响涂敷液的吐出，从而产生涂敷缺陷。因此，有人提出了例如专利文献I中所公开的清洗金属件的清洗装置。该清洗装置包括储存清洗液并用于将金属件前端浸溃在该清洗液中的清洗槽；以及用于使清洗液流入金属件(缝隙)的流路。并且，在该流路的途中设置有对清洗液施加超声波振动的超声波振荡器，通过该超声波振动使金属件内部粘着的粘着物浮起，提高清洗效果。现有技术文献专利文献专利文献I :日本专利技术专利公本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种金属件的清洗方法，该金属件内形成有在该金属件宽度方向上长、且在该金属件的前端开口的缝隙，该清洗方法包括：第1流入工序，使金属件前端浸渍在清洗槽内的施加了振动波的清洗液中，使该清洗液通过所述缝隙向金属件内部流入；气体流入工序，从在所述第1流入工序中使清洗液向金属件内部流入的状态，使气体在缝隙的宽度方向的全长通过所述缝隙流入所述金属件内部；以及第2流入工序，在所述气体流入工序后，使所述金属件前端浸渍在所述清洗槽内的施加了振动波的清洗液中，使该清洗液通过所述缝隙向所述金属件内部流入。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：林田健儿，川竹洋，堀内展雄，伊藤祯彦，釜谷学，
申请(专利权)人：东丽株式会社，东丽工程株式会社，
类型：发明
国别省市：