硅片在线自动检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种硅片在线自动检测装置，用于检测随传输线同步依次传送的若干硅片是否为碎片并将碎片从所述的传输线上分拣出来，包括设置在所述的传输线的上方的检测单元、与所述的检测单元信号连接的控制单元及与所述的控制单元信号连接的分拣单元，检测单元中采用光纤传感器，控制单元根据检测单元的检测信号控制分拣单元将碎片分拣出来。利用光纤传感器检测出硅片中的碎片，并通过控制分拣单元将碎片分拣出来，这样的方法可以将在线传送的硅片中的绝大多数的碎片分拣出来，结构简单、成本低，效果显著，为后面的精检打好基础，以达到高效、快捷地分拣碎片。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种硅片在线自动检测装置。
技术介绍
硅片一般较薄，在分切、清洗或传输的过程中极易发生碎片的现象，要进行碎片检查后才能够进行后续的应用，现有技术中多是通过人工精检来对可能含有大量碎片的硅片进行检测，这样往往需要很高的人工成本，且检测效率非常低。
技术实现思路
针对上述存在的技术不足，本专利技术的目的是提供一种用于对硅片中的碎 片进行粗检的硅片在线自动检测装置。为解决上述技术问题，本专利技术采用如下技术方案 一种硅片在线自动检测装置，用于检测随传输线同步依次传送的若干硅片是否为碎片并将碎片从所述的传输线上分拣出来，其特征在于包括设置在所述的传输线的上方的检测单元、与所述的检测单元信号连接的控制单元及与所述的控制单元信号连接的分拣单元; 所述的检测单元包括用于检测所述的传输线上当前是否有硅片的第一检测件、用于检测对应的当前硅片是碎片或完整片的第二检测件； 所述的分拣单元包括从所述的传输线延伸设置的分拣传输轨、下料机构、碎片收集机构，所述的分拣传输轨具有第一位置和第二位置，当所述的分拣传输轨位于第一位置时，所述的分拣传输轨对接在所述的传输线与所述的下料机构之间；当所述的分本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅片在线自动检测装置，用于检测随传输线同步依次传送的若干硅片是否为碎片并将碎片从所述的传输线上分拣出来，其特征在于：包括设置在所述的传输线的上方的检测单元、与所述的检测单元信号连接的控制单元及与所述的控制单元信号连接的分拣单元；？所述的检测单元包括用于检测所述的传输线上当前是否有硅片的第一检测件、用于检测对应的当前硅片是碎片或完整片的第二检测件；？所述的分拣单元包括从所述的传输线延伸设置的分拣传输轨、下料机构、碎片收集机构，所述的分拣传输轨具有第一位置和第二位置，当所述的分拣传输轨位于第一位置时，所述的分拣传输轨对接在所述的传输线与所述的下料机构之间；当所述的分拣传输轨位于第二位置时，所述...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈宏，
申请(专利权)人：张家港市超声电气有限公司，
类型：发明
国别省市：