表面处理装置和电镀槽制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种表面处理装置和电镀槽，其防止了电镀槽内的板状工件的摆动，实现了电镀质量的提高，并且防止了搬送时基板的脱落或损伤。电镀槽（2a）具有：上部导轨（11），其设在电镀槽（2a）的上方并沿移动方向搬送搬送用吊架（15a）；和下部导轨（14），其设在电镀槽（2a）内并在与搬送用吊架（15a）的下部夹紧器（49）之间产生引力，当进行电镀处理时，通过产生引力来向下方拉伸搬送用吊架（15a）的下部夹紧器（49），由此对板状工件（W）施加张力。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种表面处理装置，所述表面处理装置具有：搬送用吊架，所述搬送用吊架搬送被处理物；电镀槽，所述电镀槽具有保持电镀处理液的槽体；和升降机构，所述升降机构用于使安装有被处理物的搬送用吊架下降到所述电镀槽，或者在对被处理物进行电镀处理之后使所述搬送用吊架从所述电镀槽上升，所述表面处理装置的特征在于，所述搬送用吊架具有：上部把持部，所述上部把持部把持被处理物的上部；和下部把持部，所述下部把持部把持被处理物的下部，所述电镀槽具有：上部导轨，所述上部导轨沿预定的移动方向搬送所述搬送用吊架；和引力产生部件，所述引力产生部件设于所述槽体的预定位置，并且所述引力产生部件在与所述搬送用吊架的下部把持部之间产生引力。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：浅富士夫，水本纯司，
申请(专利权)人：上村工业株式会社，
类型：发明
国别省市：