【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种加热炉，尤其涉及一种晶体生长炉。
技术介绍
传统的鼠笼式加热器电极一般是采用铜环与钨杆通过紧固件连接的，铜环内有水冷夹层，铜环上面连接有带水冷夹层的铜棒，铜棒一般从炉盖上方伸出，与单晶炉电源连接，从而将直流电压导入到加热器上。这样一种结构就导致了在加热过程中，冷却水会带走大量的热量，也就是说加热器大部分的热功率都被冷却水消耗了。另外，该结构由于引入冷却水进入真空腔体，存在泄漏的风险，一旦电极引出的焊缝处漏水那么就会造成真空破坏、电极短路、熔融状态的晶体遇水喷溅、坩埚损坏等重大事故。因此有必要对现有的晶体生长炉进行改进，提高加热效率，避免泄露隐患。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种晶体生长炉，能够提高加热效率，并且避免泄露隐患。本技术为解决上述技术问题而采用的技术方案是提供一种晶体生长炉，包括密封固定在腔体内的坩埚和主加热器，所述主加热器设在坩埚的外面，所述坩埚和主加热器外设有隔热屏，其中，所述主加热器通过钨环和钨棒电极的一端相连，所述钨棒电极的另一端与腔体上的水冷电极相连。上述的晶体生长炉，其中，所述坩埚顶部设有盖屏，底部通过支撑柱上，所...
【技术保护点】
一种晶体生长炉，包括密封固定在腔体（4）内的坩埚（7）和主加热器（6），所述主加热器（6）设在坩埚（7）的外面，所述坩埚（7）和主加热器（6）外设有隔热屏，其特征在于，所述主加热器（6）通过钨环（2）和钨棒电极（1）的一端相连，所述钨棒电极（1）的另一端与腔体（4）上的水冷电极（9）相连。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：毛念新，严仲君，黄翔鄂，王新征，
申请(专利权)人：上海嘉森真空科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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