包括热辐射屏蔽的用于西门子反应器的钟罩制造技术

本发明专利技术涉及一种用于经由化学气相沉积工艺在多个加热的硅棒上沉积多晶硅的西门子反应器的钟罩。该钟罩包括导热内壁，该内壁具有至少部分限定内部空间的内表面，该内部空间适于在其内接纳所述多个加热的硅棒。热辐射屏蔽位于内部空间中，该热辐射屏蔽与所述内壁的内表面大体上邻接并与该内表面处于相对的关系。所述热辐射屏蔽基本上不透过从在所述钟罩的内部空间中的所述多个加热的硅棒发出的热辐射。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】包括热辐射屏蔽的用于西门子反应器的钟罩
技术介绍
该部分旨在向读者介绍可能与下面描述和/或要求权利的本专利技术的各方面相关的本领域的各方面。相信该讨论对于向读者提供背景信息以利于更好地理解本专利技术的各方面是有帮助的。因此，应当理解，这些陈述是用于考虑到此来阅读的，并不是承认作为现有技术。高纯多晶态的硅(多晶硅)是用于制造电子元件和太阳能电池的原材料。它可通过硅源气体借助氢气的热分解或还原获得。本领域技术人员称该工艺为化学气相沉积(CVD)。多晶硅可在所谓的西门子反应器中生产。在这些CVD反应器中的元素硅的化学气相沉积发生在所谓的细棒的硅棒上。棒放置在西门子反应器的金属钟罩中，并电连接到电源上。当将电流供给棒时，这些棒通过电阻加热被加热到1000°C以上。包括氢气和硅源气体——例 如三氯硅烷——的反应气体被引入钟罩中。当气体混合物接触棒的表面时,气体混合物通过传导热传递被加热，使得在娃棒的表面上发生CVD反应。由于棒的温度高，在棒处转换成热能的大部分电能从棒的表面福射出来。来自于每个棒的热辐射的一部分变成入射到相邻的棒上并被该棒吸收，因此有助于棒的加热。反应气体能够透过热辐射，且因此热辐射本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：G·帕扎利亚，M·富马加利，M·库尔卡尼，
申请(专利权)人：MEMC电子材料有限公司，
类型：
国别省市：