【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种检测晶片的调节装置，在检测机械手上是否有无晶片的调节装置中得到充分的应用。
技术介绍
离子注入机是一种通过引导杂质注入半导体晶片，从而改变晶片的传导率的设备，其中，杂质注入的深度和密度的均匀性都直接决定了注入晶片的品质。在晶片传送的过程中，我们采用机械手臂来传送晶片，首先晶片是放在片库的晶片盒子里，需要通过机械手将晶片取出来放到片库中，其次，在等到机械手把片库中的晶片取出来，当在机械手腔中时，系统需要检测机械手臂上是否有晶片，此时激光器发出激光，接收器判断是否接收到激光，若接收到激光，表示机械手上无晶片，进入等待过程，接收器没有接收到激光时，则有晶 片在机械手上，进入相应下一步的操作。判断机械手上是否有晶片对于下一步的操作是非常重要的，通过判断是否有晶片来决定机械手臂是否传送晶片。
技术实现思路
本专利技术通过以下技术方案实现I. 一种检测晶片的调节装置，包括2个调节螺钉(1)、1个固定螺钉(2)、1个激光器(3)、1个接收器(4)。其特征在于，其中所述调节螺钉(I)用来调节激光座子的位置。激光座位置决定激光器(3)发出的激光，当调节螺钉旋转到特定...
【技术保护点】
一种检测晶片的调节装置，其特征在于：该装置包括：2个调节螺钉(1)、1个固定螺钉(2)、1个激光器(3)、1个接收器(4)。其特征在于：激光器(3)的激光随着调节螺钉(1)的松动而变化方向，此装置要先调整调节螺钉(1)，两个调节螺钉(1)交换调节，直至激光器(3)的激光在无晶片的情况下，接收器(4)接收到激光。就表明调节螺钉(1)调整完毕，在拧紧固定螺钉(2)。固定螺钉(2)用来固定此调节装置。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：林萍，伍三忠，彭立波，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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