基于相位恢复的4f镜面检测成像系统及其方法技术方案

本发明专利技术公开一种基于相位恢复的4f镜面检测成像系统及其方法，系统包括激光器，减光镜，显微物镜，针孔，被测镜面，4f成像单元，计算机。4f成像单元包括透镜1，空间光调制器，透镜2，CCD相机。激光器发射出来的光经减光镜，显微物镜和针孔后照射到被测镜面上。4f成像单元中的CCD相机采集多次光波调制图像，送至计算机进行稀疏约束相位恢复处理。本发明专利技术的方法在采集到被测镜面处的光波强度图像的基础上，利用稀疏约束相位恢复方法得到被测镜面处光波的相位，实现对被测镜面的误差检测。本发明专利技术具有精度高，稳定性好，操作简单和对噪声鲁棒性好的优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于图像处理
，更进一步涉及光学测量与图像处理
中。本专利技术基于光学空间光调制4f成像系统与相位恢复算法联合进行镜面误差检测，在对被测镜面进行光学成像后可以实现对光学镜面的误差检测。
技术介绍
随着各种光学镜面在空间光学、航空和军事等领域得到了越来越广泛的应用。目前，已有的基于光波衍射和傅里叶光学的图像测量技术和光学镜面检测的技术主要是基于光的衍射原理，利用光学成像系统获取通过镜面的光波的强度图像然后根据傅里叶光学的相关原理采用一定的相位恢复优化算法实现对光学镜面的检测。 在利用光波衍射和傅里叶光学进行镜面误差检测的方法中，Gregory R. Brady,M. Guizar-Sicairos 和 J.R.Fienup 在“Optical wavefront measurement usingphase retrieval with transverse translation diversity，，， OPTICS EXPRESS 17，624-639(2009)中提出了基于相位恢复的镜面误差检测方法，该方法的实质是通过移动CCD相机在出射光波波面的焦点附本文档来自技高网...

【技术保护点】
基于相位恢复的4f镜面检测成像系统，包括激光器，减光镜，显微物镜，针孔，被测镜面，其特征在于，所述激光器平行设置在减光镜之后，显微物镜位于减光镜平行的方向上，针孔平行的置于显微物镜的焦距处，激光器，减光镜，显微物镜和针孔的中心置于同一条直线上；所述被测镜面设置在与针孔平行的方向上，4f成像单元中的透镜1和透镜2的焦距相等，被测镜面置于透镜1的前焦平面处，透镜1、空间光调制器、透镜2和CCD相机之间的距离为透镜1的焦距，4f成像单元中各个器件的中心和前面的装置的中心置于同一条直线上；计算机与空间光调制器和CCD相机相连接；所述激光器，用于产生波长为532nm的光波；所述减光器，用于对激光器产生的...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：石光明，刘阳，刘丹华，高大化，王立志，李国，
申请(专利权)人：西安电子科技大学，
类型：发明
国别省市：