本实用新型专利技术提供了一种单晶炉热场加热器及包括该单晶炉热场加热器的单晶炉。其中单晶炉热场加热器包括：加热器主体(10)以及固定设置在加热器主体(10)上的加热器脚(20)，加热器主体(10)与加热器脚(20)可拆卸地连接。采用本实用新型专利技术的单晶炉热场加热器及包括该单晶炉热场加热器的单晶炉，可以只更换磨损的加热器脚，而保留加热器主体，降低维修成本。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及硅单晶制备装置，具体而言，涉及ー种单晶炉热场加热器及包括该单晶炉热场加热器的单晶炉。
技术介绍
单晶炉是在惰性气体环境中，采用加热器，将硅材料熔化，并采用直拉法生长无位错单晶的设备。而加热器是单晶炉热场的重要组成部件之一，是为单晶炉供热的发热部件。如图I所示，一般是在加热器主体10’上设置加热器脚20’，使加热器主体10’通过该加热器脚20’与石墨电极固定连接，由石墨电极提供电源，使电流通过加热器脚20’流向加热器主体10’，从而使加热器主体10’为单晶炉供热。一般单晶炉每运行五次就需要将加热器主体10’拆下进行清洁，频繁的拆卸、安装加热器主体10’会使得加热器脚20’与石墨电极的 接触面产生磨损，造成接触面不平整，这样会导致单晶炉运行时，石墨电极与加热器脚20’之间产生打火事故，造成安全隐患。而由于加热器主体10’与加热器脚20’为一体成型，当加热器脚20’磨损时，就需要更换整个加热器主体10’，増加了设备的维修成本。
技术实现思路
本技术g在提供一种单晶炉热场加热器及包括该单晶炉热场加热器的单晶炉，可以只更换磨损的加热器脚，而保留加热器主体，降低维修成本。为了实现上述目的，根据本技术的ー个方面，提供了ー种单晶炉热场加热器，包括加热器主体以及固定设置在加热器主体上的加热器脚，加热器主体与加热器脚可拆卸地连接。进ー步地，加热器主体与加热器脚之间固定设置有连接件，连接件与加热器主体可拆卸地连接，加热器脚与连接件可拆卸地连接。进ー步地，加热器主体上设置有第一连接孔；加热器脚上设置有第二连接孔；连接件上设置有第三连接孔以及第四连接孔，第三连接孔与第一连接孔相对应，第四连接孔与第二连接孔相对应。进ー步地，第一连接孔和第二连接孔均为螺纹孔，第三连接孔和第四连接孔均为光孔。进ー步地，第三连接孔和第四连接孔远离加热器主体的内壁面的一端分别设置有用于嵌入螺母的凹槽。进ー步地，加热器脚呈L型，具有相交的第一段以及第ニ段，第一段上设置有第二连接孔，第二段的内壁面朝向加热器主体，连接件具有远离加热器主体的抵接面，且第二段的内壁面与连接件的抵接面相贴合。进ー步地，连接件固定设置在加热器主体的内壁面上，且与加热器主体的内壁面相贴合。 根据本技术的另ー个方面，提供了ー种单晶炉，包括单晶炉热场加热器，单晶炉热场加热器为前述的单晶炉热场加热器。应用本技术的技术方案，通过使加热器主体与加热器脚可拆卸地连接，当加热器脚损坏时，只需要将加热器脚从加热器主体上拆除，并更换新的加热器脚即可，无需更换整个加热器主体,降低了维修成本。附图说明构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本技术的进ー步理解，本实用 新型的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中图I示出了现有技术中加热器的结构示意图；图2示出了根据本技术的实施例的单晶炉热场加热器的主视图；以及图3示出了根据图2的单晶炉热场加热器的俯视图。具体实施方式下面将參考附图并结合实施例来详细说明本技术。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互組合。如图2和图3所示，根据本技术的实施例，提供了ー种单晶炉热场加热器，包括加热器主体10和加热器脚20，其中加热器脚20固定设置在加热器主体10上，且与加热器主体10可拆卸地连接。这种结构,将加热器脚20从加热器主体10上分离,可以使损坏的加热器脚20直接被拆卸下来进行更换，而将完好无损的加热器主体10保留下来继续エ作，避免了材料的浪费，节约了生产成本。加热器脚20为L形结构，具有垂直相交的第一段以及第ニ段，第一段竖直设置在加热器主体10的下方，且第一段具有两个沿水平方向设置的第二连接孔21，加热器主体10具有两个沿水平方向设置的第一连接孔11，使加热器主体10和加热器脚20之间可以通过螺栓连接固定，以方便拆卸操作，或者也可以通过连接杆，与第一连接孔11和第二连接孔21过盈配合固定。第二段水平设置，且向加热器主体10的中心轴线方向延伸，其内壁面朝向加热器主体10。第二段的延伸端具有一个沿竖直方向设置的第五连接孔22，用于穿过使加热器脚20与石墨电极固定连接的螺栓，确保电流能通过加热器脚20安全地流向加热器主体10。为了使加热器主体10和加热器脚20之间的连接更加稳固，加热器主体10与加热器脚20之间通过连接件30固定连接。优选地，连接件30为连接片。连接件30竖直设置，且具有四个沿水平方向设置的连接孔，其中两个连接孔为第三连接孔31，另外两个连接孔为第四连接孔32。第三连接孔31与第一连接孔11相对应设置，第四连接孔32与第二连接孔21相对应设置，使连接件30与加热器主体10可以通过螺栓或过盈配合的连接杆连接，加热器脚20与连接件30可以通过螺栓或过盈配合的连接杆连接。当进行连接时，先将连接件30固定在加热器主体10上，再将加热器脚20固定在连接件30上，使加热器脚20的第一段的上端面与加热器主体10的下端面抵接即可。四个螺栓可以确保连接件30、加热器主体10以及加热器脚20之间的连接更加稳固，但是这里螺栓的数量不限于四个，应该根据实际需要而设置。这里也可以将第一连接孔11和第二连接孔21均设置为螺纹孔，将第三连接孔31和第四连接孔32均设置为光孔，使加热器主体10、加热器脚20和连接件30通过螺栓固定，再用螺母旋拧在螺栓靠近光孔的一端以起到紧固的作用。当进行连接时，需要用四个螺母分别与连接件30上的四个连接孔一一对应设置，以将加热器主体10与连接件30以及将连接件30与加热器脚20固定。为了保证加热器主体10和加热器脚20外表面的平滑，防止打火事故发生，将四个螺母设置在连接件30背向加热器主体10的端面上。由于加热器脚20的第五连接孔22中要竖直设置与石墨电极连接的螺栓，该竖直的螺栓与螺母之间可能由于相互接触而产生打火事故，为了避免打火事故，造成安全隐患，在第三连接孔31和第四连接孔32远离加热器主体10的内壁面的一端分别设置有用于嵌入螺母的凹槽33，使螺母的端面与连接件30的端面平齐。为了确保加热器主体10和加热器脚20外表面的平滑，防止打火事故发生，将连接件30固定设置在加热器主体10的内壁面上，且与加热器主体10的内壁面相贴合。连接件30远离加热器主体10的端面为抵接面，该抵接面与加热器脚20的第二段的内壁面相贴合，防止连接件30与加热器脚20之间产生打火事故或沉积杂质。根据本技术的另ー个实施例，提供了ー种单晶炉，包括单晶炉热场加热器，该单晶炉热场加热器为前述任一种的单晶炉热场加热器。从以上的描述中，可以看出，本技术上述的实施例实现了如下技术效果通过使加热器主体与加热器脚可拆卸地连接，当加热器脚损坏吋，只需要将加热器脚从加热器主体上拆除，并更换新的加热器脚即可，无需更换整个加热器主体，降低了维修成本。以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，对于本领域的技术人员来说，本技术可以有各种更改和变化。凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。权利要求1.ー种单晶炉热场加热器，包括加热器主体(10)以及固定设置在所述加热器主体(10)本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种单晶炉热场加热器，包括加热器主体(10)以及固定设置在所述加热器主体(10)上的加热器脚(20)，其特征在于，所述加热器主体(10)与所述加热器脚(20)可拆卸地连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：郭凯，高文宽，乔松，尹东坡，周浩，
申请(专利权)人：英利能源中国有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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