【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种吹扫净化装置,其特征在于,包括:管路系统,所述管路系统包括顺次相连通的第一氮气接口(01)、第一调压阀(11)、第一单向阀(21)、第一气动阀(31)、第一压力表(51)和接出口(05),及在第一单向阀(21)后顺次连通的针阀(4)、第四气动阀(34)和接入口(06),所述针阀(4)和所述第四气动阀(34)之间的管路与第一排气接口(02)相连通,和顺次相连通的第二氮气接口(03)、第二调节阀(12)、第二单向阀(22)、第二气动阀(32)、真空发生器(6)和第二排气接口(04),所述第一气动阀(31)和所述接出口(05)之间的管路通过第三气动阀(33)与所述真空发生器(6)的吸入口相连通,所述第一单向阀(21)和所述第一气动阀(31)之间的管路通过第五气动阀(35)与所述接入口(06)相连通;柜壳,所述柜壳为密封柜壳,所述管路系统固定设置在所述柜壳内。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:吴海华,连海洲,徐力,
申请(专利权)人:至砾机电设备上海有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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