湿式蚀刻用夹具制造技术

本发明专利技术的湿式蚀刻用夹具（1）在湿式蚀刻板状的被加工物时，保持被加工物，其中，具有：保持部，其具有形成有用于吸引空气的吸引口（17）的吸引部、和以包围吸引部的周围的方式设置且能够以包围被加工物的第一面的规定区域的方式与第一面紧密接触的第一紧密接触部（15）；与吸引口连通的排气通路；止回阀（12），被设置于排气通路，切断空气向吸引部的流动，并允许来自吸引部的空气的流动。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及湿式蚀刻用夹具，尤其是涉及吸引并保持板状的被加工物的湿式蚀刻用夹具。
技术介绍
太阳能发电的发电成本还是很高，作为太阳能电池，谋求削减材料成本、制造成本的同时提高转换效率。因此，谋求占材料成本的大部分的晶圆的薄型化。通过晶圆的薄型化，光的吸收层变少，并且表面的相对的重要性增加。由此，为制造转换效率高的太阳能电池，光的限制技术和表背面的钝化(惰性化)技术变得重要。当前的晶体硅太阳能电池几乎都是通过在受光面上设置被称为表面织构(以下记作Tex.)的微小凹凸来降低表面的反射率，在背面设置有与所使用的晶圆相同的导电型的高浓度扩散层，通过其交界处具有的内置电场使背面钝化。将该背面的扩散层称为BSF(Back SurfaceField :背面区)层。一般使用p型晶圆，通过在背面印刷、焙烧Al膏而形成BSF层(以下将该BSF称为A1-BSF)。但是，公知晶圆的薄型化和Al-BSF的兼容性不太好，成为妨碍晶圆的薄型化的主要原因。更具体来说，Al和Si存在热膨胀率的差异，从而在焙烧后的晶圆中存在内部应力。由此，随着晶圆变薄，电池的翘曲变得明显，对随后的模块制作工序带来影响。由此，作为代本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：西本阳一郎，
申请(专利权)人：三菱电机株式会社，
类型：
国别省市：