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本发明的湿式蚀刻用夹具（1）在湿式蚀刻板状的被加工物时，保持被加工物，其中，具有：保持部，其具有形成有用于吸引空气的吸引口（17）的吸引部、和以包围吸引部的周围的方式设置且能够以包围被加工物的第一面的规定区域的方式与第一面紧密接触的第一紧密...
该专利属于三菱电机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三菱电机株式会社授权不得商用。

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