轮廓测量装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及缩减因振动影响而造成的3D轮廓的测量误差的轮廓测量装置。轮廓测量装置设置有轮廓测量单元、位置获取单元、轮廓计算单元、偏斜检测单元、以及控制器单元。该轮廓测量单元具有用于将图案投影到被测量物体上的投影单元、和将该图案成像的成像单元。该位置获取单元获取该图案在被测量物体上的位置。该轮廓计算单元基于来自成像单元的图像信息和来自位置获取单元的位置信息来计算被测量物体的轮廓。该偏斜检测单元检测投影单元的偏斜。该控制单元基于由偏斜检测单元检测到的投影单元的偏斜，来执行对轮廓测量单元的主动修正和/或对轮廓计算单元的被动修正。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于测量要测量的物体(被测量物体)的三维(3D)轮廓的轮廓测量装置。
技术介绍
利用激光测距仪的 方法已知为用于测量被测量物体的3D轮廓的常规方法(例如，参照，专利文献I)。该方法要将激光束施加到被测量物体的表面上，以从与该激光束的施加方向不同的方向来观察该被测量物体，并且根据三角测量原理来获取利用该激光束照射的被测量物体的3D轮廓。在该方法中，激光束在被测量物体上扫描，由此可以获取整个被测量物体的3D轮廓。引用列表专利文献专利文献I :美国专利No. 499383
技术实现思路
本专利技术要解决的问题然而，在执行扫描照射的情况下，然而，激光束随着从外部添加至测量装置的振动而偏离预定照射角，并且所测量的3D轮廓将具有误差。本专利技术鉴于该问题而实现，并且本专利技术的一个目的是提供一种缩减因振动影响而造成的3D轮廓的测量误差的轮廓测量装置。用于解决所述问题的手段根据本专利技术一实施例的轮廓测量装置包括轮廓测量单元、位置获取单元、轮廓计算单元、偏斜检测单元和控制单元。该轮廓测量单元具有用于将预定图案投影到被测量物体上的投影单元、和用于将由投影单元投影的图案成像的成像单元。该位本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：伊藤由佳，藤泽晴彦，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：
国别省市：