三维形状测量设备制造技术

技术编号:8130027 阅读:203 留言:0更新日期:2012-12-27 01:30
一种三维形状测量设备,所述设备包括照明部和光栅移动单元。照明部包括:光源单元,产生光;光栅单元,将由光源单元产生的光改变为具有光栅图案的光栅图案光。照明部沿预定方向将光栅图案光照射到测量目标上。光栅移动单元沿相对于光栅图案的延伸方向和光栅图案的排列方向的预定倾斜方向移动光栅单元。因此,可降低制造成本,并且可容易地管理三维形状测量设备。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术的示例性实施例涉及一种三维形状测量设备。更具体地讲,本专利技术的示例性实施例涉及一种通过照射光栅图案光来测量三维形状的三维形状测量设备。
技术介绍
通常,三维形状测量设备将光栅图案光照射到测量目标上并通过光栅图案光拍摄反射图像,以对测量目标的三维形状进行测量。三维形状测量设备通常包括台、相机、照明单元、中央处理部,等等。通常,利用三维形状测量设备对测量目标的三维形状进行的测量如下来执行。 首先,来自照明单元的光栅图案光入射到布置在台上的测量目标上。光栅图案光在移动N次的同时入射到测量目标上。此后,相机通过检测被测量目标反射的光栅图案光来获取N幅图案图像。然后,中央处理部利用N-桶算法从N幅图案图像计算每个位置的高度。利用所计算的每个位置的高度对测量目标的三维形状进行测量。传统的三维形状测量设备以多个方向照射光栅图案光,以精确地测量三维形状。可仅仅在为产生光栅图案光而沿着在俯视图中观察时平行于光栅图案光的照射方向移动光栅图案N次时测量三维形状。因此,传统的光栅图案的移动方向基本上平行于光栅图案的排列方向,即,基本上垂直于光栅图案的延伸方向。因此当在主视图中观察时,布置在左侧本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种板检查设备,所述设备包括:多个照明部,所述多个照明部中的每一个包括产生光的光源单元、将光源单元产生的光改变为光栅图案光的光栅单元、投射光栅图案光的投射透镜;光路改变部,将通过投射透镜的光栅图案光提供给测量目标;光栅移动单元,将照明部的光栅单元同时移动预定次数;图像拍摄模块,使用被测量目标反射的光栅图案光拍摄图像;控制部,使用拍摄模块拍摄的图像检查测量目标;其中,光栅单元设置在相同平面上,并且通过光栅移动单元在所述相同平面上同时移动光栅单元。

【技术特征摘要】
2009.07.03 KR 10-2009-0060865;2010.01.06 KR 10-201.一种板检查设备,所述设备包括 多个照明部,所述多个照明部中的每一个包括产生光的光源单元、将光源单元产生的光改变为光栅图案光的光栅单元、投射光栅图案光的投射透镜; 光路改变部,将通过投射透镜的光栅图案光提供给测量目标; 光栅移动单元,将照明部的光栅单元同时移动预定次数; 图像拍摄模块,使用被测量目标反射的光栅图案光拍摄图像; 控制部,使用拍摄模块拍摄的图像检查测量目标; 其中,光栅单元设置在相同平面上,并且通过光栅移动单元在所述相同平面上同时移动光栅单元。2.如权利要求I所述的板检查设备,其中,光路改变部包括 多个第一反射镜,反射通过投射透镜的光栅图案光; 多个第二反射镜,反射被第一反射镜反射的光栅图案光并将反射的光栅图案光提供给测量目标。3.如权利要求2所述的板检查...

【专利技术属性】
技术研发人员:许浈全文荣金弘珉尹相圭洪钟圭
申请(专利权)人:株式会社高永科技
类型:发明
国别省市:

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