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本发明涉及缩减因振动影响而造成的3D轮廓的测量误差的轮廓测量装置。轮廓测量装置设置有轮廓测量单元、位置获取单元、轮廓计算单元、偏斜检测单元、以及控制器单元。该轮廓测量单元具有用于将图案投影到被测量物体上的投影单元、和将该图案成像的成像单元。...
该专利属于株式会社尼康所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社尼康授权不得商用。

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