【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种用于保护叠层的图案化磁性材料的方法，包括：沉积惰性材料的连续薄膜，对于正在其上沉积所述连续薄膜的图案化叠层的磁性材料，所述惰性材料呈惰性；以及从所述连续薄膜形成中间界面薄层，以保护非蚀刻的高浮雕磁岛的顶部和侧壁区域以及图案化叠层的磁膜蚀刻表面不受因暴露于空气而引起的损伤以及因与回填材料接触而引起的损伤。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：范朝晖，徐源，胡家祯，轮湖公一，郭晓民，
申请(专利权)人：希捷科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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