【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及微惯性导航技术相关领域，具体而言，涉及ー种基于巨磁阻效应的微机械加速度传感器。
技术介绍
目前，微机械加速度传感器常用的检测方式是压阻式、电容式、压电式和隧道效应式等，压阻式是基于高掺杂硅的压阻效应原理实现的，高掺杂硅形成的压敏器件对温度有较强的依赖性，其由压敏器件组成的电桥检测电路也会因温度变化引起灵敏度漂移；电容式精度的提高是利用增大电容面积，由于器件的微小型化，其精度因有效电容面积的缩小而难以提高。压电效应纳传感器的灵敏度易漂移，需要经常校正，归零慢，不宣连续测试。隧道效应纳传感器，制造エ艺复杂，检测电路也相对较难实现，成品率低，不利于集成。 微机械加速度传感器对角速度的测量是靠检测装置实现カ电转换来完成的，其灵敏度、分辨率是十分重要的，由于加速度传感器微型化和集成化，检测的敏感区域随之减小，故而使检测的灵敏度、分辨率等指标已达到敏感区域检测的极限状态，从而限制了加速度传感器检测精度的进ー步提高，很难满足现代军事、民用装备的需要。
技术实现思路
本专利技术g在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。有鉴于此，本专利技术需要提供微机械加速度传感器，该...
【技术保护点】
一种微机械加速度传感器，其特性在于，包括：键合基板，键合基板上制作有供敏感质量块运动提供空间的底槽；铁磁性薄膜，铁磁性薄膜设键合基板底槽的中心位置；加速度敏感体，所述的加速度敏感体设在所述的键合基板上方，并且与键合基板粘结牢固，且加速度敏感体包括：敏感质量块，对应设在底槽上方；巨磁敏电阻，设在敏感质量块上表面，且巨磁敏电阻与铁磁性薄膜位置对应；支撑框体，通过悬臂梁与敏感质量块连接，对敏感质量块起支撑作用，巨磁敏电阻可随敏感质量块沿垂直于所述铁磁性薄膜上表面的方向振动。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王莉，郑伦贵，李锡广，李孟委，刘俊，崔敏，
申请(专利权)人：中北大学，
类型：发明
国别省市：
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