量子点结构紫外-可见光电探测器制造技术

本实用新型专利技术公开了量子点结构紫外-可见光电探测器，为量子点与同质结相结合的多层结构。衬底顶端自下而上依次由透明导电层、本征ZnO层、ZnO:Cu补偿层、金属电极层组成。本征ZnO层和ZnO:Cu补偿层通过旋涂纳米晶并退火获得，之后通过光刻方法刻蚀露出一定区域的透明导电层，顶部金属电极层由电子束蒸发沉积获得，并经快速热退火处理得到欧姆接触。本实用新型专利技术优点是：成本较低，很好兼容于平面印刷工艺，且具有更低的暗电流，有效地提高了光电响应性能。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及光电探测器领域，具体的说是ー种量子点结构紫外-可见光电探测器。技术背景ZnO材料对应的室温光学带隙在3. 37eV，对紫外波段具有良好的响应特征，因此被人们认为是紫外探測器的优选基础材料。光电探测器中的活性层ZnO现阶段更多依赖于高真空设备生长，エ艺繁琐、成本高。研究开发新的生长方法和エ艺也是大势所趋。胶体化学法能很好兼容于平面印刷工艺，衬底选取多祥化，无需考虑晶格的匹配问题，方便实现材料的沉积与加工，大大降低了器件开发成本，拓宽了材料的应用范围。研究表明，Cu在ZnO中是ー种可见光光电导激活剂，即可有效补偿本征ZnO中的施主态，降低暗电流密度，又可实现不同波段的分别响应，对开发多波段响应的ZnO基光电探测器具有重要意义。目前，这方面研究尚处于起步阶段，尽管Nikolai Kouklin已经制备出Cu掺杂ZnO纳米线并实现了·对可见光的响应，但Cu的固溶度不够高，光响应特性和器件灵敏度还有待提升。利用胶体化学法在结构设计上的优势，将量子点与同质结结合起来构筑三维结型光电探测器，不仅能提高器件的内量子效率，而且能够有效降低成本，充分体现该技术理念的创新和性能上的优势。关本文档来自技高网...

【技术保护点】
量子点结构紫外？可见光电探测器，其特征在于：整体采用三明治式多层结构，具有导电衬底，所述导电衬底，为衬底上覆盖透明导电层，透明导电层作为底电极；在导电衬底上自下而上依次设置有本征ZnO层和ZnO:Cu补偿层，ZnO:Cu补偿层上沉积有顶电极。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：朱丽萍，
申请(专利权)人：安徽康蓝光电股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：