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安徽康蓝光电股份有限公司
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量子点结构紫外-可见光电探测器制造技术
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文档序号:8149942
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本实用新型公开了量子点结构紫外-可见光电探测器,为量子点与同质结相结合的多层结构。衬底顶端自下而上依次由透明导电层、本征ZnO层、ZnO:Cu补偿层、金属电极层组成。本征ZnO层和ZnO:Cu补偿层通过旋涂纳米晶并退火获得,之后通过光刻方法...
该专利属于安徽康蓝光电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过安徽康蓝光电股份有限公司授权不得商用。
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