显微镜制造技术

本实用新型专利技术公开了一种显微镜，用于晶圆的检测，包括工作平台及设于所述工作平台上的卡槽、感应器和驱动马达，所述卡槽用于收容晶片盒，所述显微镜还包括设于所述工作平台上的固定锁，所述固定锁在气动作用下可从第一位置运动至第二位置，并在第二位置时限制所述晶片盒移动。本实用新型专利技术通过设置固定锁来限制晶片盒在工作过程中的移动，可以避免损坏晶圆及出现安全隐患。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及晶圆制造领域，尤其涉及一种晶圆检测用的显微镜。
技术介绍
显微镜是由一组或多组透镜组合而构成的一种光学仪器，是人类进入原子时代的标志。显微镜是用于放大微小物体的仪器，使得微小物体放大后能被人的肉眼看到。显微镜按照显微原理进行分类可分为光学显微镜与电子显微镜。光学显微镜通常皆由光学部分、照明部分和机械部分组成。无疑光学部分是最为关键的，它由目镜和物镜组成。目前光学显微镜的种类很多，主要有明视野显微镜(普通光学显微镜)、暗视野显微镜、突光显微镜、相差显微镜、激光共聚扫描显微镜、偏光显微镜、微分干涉差显微镜、倒置显微镜。电子显微镜有与光学显微镜相似的基本结构特征，但它有着比光学显微镜高得多的对物体的放大及分辨本领，它将电子流作为一种新的光源，使物体成像。目前电子显微镜的种类很多，主要有透射电镜、扫描电镜、分析电镜、超高压电镜等。参图I所述，现有技术中的一种显微镜，用以对晶圆进行检测，包括机械手、工作平台I’及设于所述工作平台I’上的卡槽3’、感应器4’和驱动马达。机械手用以抓取晶圆；晶圆收容在一个晶片盒内；晶片盒可固定在工作平台I’上的卡槽3’内；感应器4’用以感知晶片盒是否成功安装到卡槽3’内，其一般设置在卡槽3’的一侧；驱动马达用以驱动工作平台I’进行上下移动。上述显微镜的工作原理是在正常测试时，晶片盒被放置在卡槽3’内，当感应器4’感应到晶片盒时，感应器4’会发出感应信号，指示设备可以正常操作；当感应器4’没有感应到晶片盒时，感应器4’会发出报警信号。测试完毕后，驱动马达反向旋转，控制工作平台I’上升。上述显微镜的缺点在于在显微镜工作过程中，若是人为取走晶片盒，感应器不会发出任何报警信号。晶片盒被拿走后工作平台上没有晶片盒，操作人员发现后会重新放一个新的晶片盒，但是，之前晶片盒内的晶圆正被机械手拿着进行检测，该晶圆检测好后，机械手会将它放回晶片盒内，但是此时已经是一个新的晶片盒，此晶片盒没有空缺供前一晶片盒的晶圆放置，机械手强行放置后会发生晶圆相互碰撞的想象，不但损坏了晶圆，而且存在一定的安全隐患。因此，针对上述技术问题，有必要提供一种具有新型的显微镜，以克服上述缺陷。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的目的提供一种显微镜，其设有用以限制晶片盒移动的固定锁，避免在显微镜工作过程中，晶片盒从卡槽中被移动，提高了安全系数。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案一种显微镜，用于晶圆的检测，包括工作平台及设于所述工作平台上的卡槽、感应器和驱动马达，所述卡槽用于收容晶片盒，其中，所述显微镜还包括设于所述工作平台上的固定锁，所述固定锁在气动作用下可从第一位置运动至第二位置，并在第二位置时限制所述晶片盒移动。作为本技术的进一步改进，所述固定锁包括汽缸和限位部，所述汽缸驱动所述限位部在所述第一位置和第二位置之间移动。作为本技术的进一步改进，所述限位部和汽缸分别设于所述工作平台的上下两侧，所述工作平台上还开设有导引槽，所述导引槽用以导引所述限位部在所述第一位置和第二位置之间移动。作为本技术的进一步改进，所述限位部在运动至所述第二位置时，所述限位部的末端位于所述晶片盒的上方。作为本技术的进一步改进，所述限位部包括第一限位部和第二限位部，所述第一限位部和第二限位部的末端在第二位置时位于所述晶片盒的上方。作为本技术的进一步改进，所述固定锁至少设有两个。作为本技术的进一步改进，所述显微镜还包括开关，所述开关用以控制所述汽缸驱动所述限位部在所述第一位置和第二位置之间移动。作为本技术的进一步改进，所述开关为一按钮。与现有技术相比，本技术的有益效果是通过设置固定锁来限制晶片盒移动，可以防止在显微镜工作过程中有人误将晶片盒拿离工作平台，以避免损坏晶圆或出现安全隐患。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的有关本技术的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图I是现有技术中显微镜的结构示意图；图2是本技术最佳实施例中显微镜的俯视图；图3是本技术最佳实施例中显微镜的主视图。具体实施方式本技术实施例公开了一种显微镜，用于晶圆的检测，包括工作平台及设于所述工作平台上的卡槽、感应器和驱动马达，所述卡槽收容有晶片盒，所述显微镜还包括设于所述工作平台上的固定锁，所述固定锁在气动作用下可从第一位置运动至第二位置，并在第二位置时限制所述晶片盒移动。通过设置固定锁来限制晶片盒移动，可以防止在显微镜工作过程中有人误将晶片盒拿离工作平台，以避免损坏晶圆或出现安全隐患。下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行详细的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。图2和图3分别是本技术最佳实施例中显微镜的俯视图和主视图。在本技术最佳实施例中，显微镜包括机械手(图未示)、工作平台I及设于所述工作平台I上的卡槽3、感应器4和驱动马达(图未示)。机械手用以抓取晶圆；晶圆收容在一个晶片盒(图未示)内；晶片盒可收容在工作平台I上的卡槽3内；感应器4用以感知晶片盒是否成功安装到卡槽3，其设置在卡槽3的一侧开口处；驱动马达用以驱动工作平台I进行上下移动。在正常测试时，晶片盒被放置在卡槽3内，当感应器4感应到晶片盒时，感应器4会发出感应信号，指示设备可以正常操作；当感应器4没有感应到晶片盒时，感应器4会发 出报警信号。 显微镜还包括设于工作平台I上的固定锁5，固定锁5可以在气动作用下从第一位置A运动至第二位置B，并在第二位置B时限制晶片盒移动。其中第一位置A是指固定锁5的初始位置，即固定锁5没有被气体驱动时，第二位置B是指固定锁5被气体驱动之后的位置。固定锁5包括汽缸51和限位部52，汽缸51上设有杠杆511，限位部52固定于杠杆511的末端。汽缸51在压缩空气的作用下推动杠杆511自第一位置A向第二位置B运动，杠杆511的运动进而带动限位部52 —起运动。在第二位置B时，限位部52的末端位于所述晶片盒的上方，以限制晶片沿垂直工作平台I的方向移动，为了不影响机械手对晶圆的抓取，限位部52不能位于晶圆的正上方，只能位于没有晶圆存放的位置，例如晶圆与晶圆之间的间隙上。限位部52的末端可以设置成板状，以增大限位部52的阻挡面积，实现更好的稳固效果。为了限制晶片盒在水平面内的运动，尤其是沿卡槽3延伸方向的运动，可以在晶片盒上开凹槽或孔，以使得限位部52在位于第二位置B时，可以卡持或穿设在凹槽或孔内，此时限位部52的末端可以根据需要设置成圆柱状等。限位部52和汽缸51分别设于工作平台I的上下两侧，工作平台I上还开设有导引槽11，导引槽11用以导引限位部52在第一位置A和第二位置B之间移动。导引槽11延伸的方向垂直于卡槽3。为了保证对晶片盒的稳固效果，固定锁5优选设置为两个，每个固定锁包括一个汽缸及固定于该汽缸上的限位部，两个固定锁本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显微镜，用于晶圆的检测，包括工作平台及设于所述工作平台上的卡槽、感应器和驱动马达，所述卡槽用于收容晶片盒，其特征在于：所述显微镜还包括设于所述工作平台上的固定锁，所述固定锁在气动作用下可从第一位置运动至第二位置，并在第二位置时限制所述晶片盒移动。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陆琦，
申请(专利权)人：无锡华润上华科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：