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本实用新型公开了一种显微镜，用于晶圆的检测，包括工作平台及设于所述工作平台上的卡槽、感应器和驱动马达，所述卡槽用于收容晶片盒，所述显微镜还包括设于所述工作平台上的固定锁，所述固定锁在气动作用下可从第一位置运动至第二位置，并在第二位置时限制所...
该专利属于无锡华润上华科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡华润上华科技有限公司授权不得商用。

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