异质结太阳能电池等离子增强化学气相沉积系统组态技术方案

本实用新型专利技术目的提供异质结太阳能电池等离子增强化学气相沉积系统组态，直线式相对的设置，中间用一自动交换区将相对设置的系统隔离呈两的部份；该异质结太阳能电池等离子增强化学气相沉积系统组态依序包含加载区、自动交换区、第一承载室、第一反应室、第二反应室、第二承载室、第三反应室、第四反应室及卸载区，呈直线且相对组态设置，此设置可形成一个整体组态完成异质结太阳能电池硅衬底正面及反面的薄膜沉积，此种设置对于未来产能扩充具有极大的弹性，只要将自动交换区加长，即可在设置相同的一个完整的组态。在上述异质结太阳能电池等离子增强化学气相沉积系统组态整体设制成直线型，自动交换区内设置正压式惰性气体循环系统，无需再另行设置洁净度高的区域来防止环境的污染，有效降低生产成本。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及异质结太阳能电池等离子增强化学气相沉积系统组态，特别涉及一种用于异质结太阳能电池等离子增强化学气相沉积系统。
技术介绍
太阳能电池产业中，硅太阳能电池以其高达20%的转换效率、成熟的制作工艺，在工业生产中占据着主导地位，然而受到硅材料价格及繁琐电池制作工艺的影响，硅太阳能电池的成本居高不下，目前严重制约着太阳能电池的大范围推广。此种异质结太阳能电池在硅衬底上利用简单工艺沉积薄膜，从而制备异质结太阳能电池。然而此种太阳能电池的工艺结构需要在硅衬底的正面及反面各沉积一层非晶硅薄膜，传统的直线式连续镀膜系 统，对于硅衬底正面完全可以适应，但无法沉积膜层至硅衬底反面；若采用两条直线式连续镀膜系统，又有硅衬底移载出镀膜系统后的表面污染问题，上述问题都亟待一系统组态来适应此种新型的太阳能电池的开发。
技术实现思路
本技术主要目的系提供异质结太阳能电池等离子增强化学气相沉积系统组态，来改善现有直线式连续镀膜系统无法有效适用于异质结太阳能电池及解决在硅衬底正面及反面沉积非晶硅薄膜及表面污染的问题。为了达成上述技术目的，本技术的技术方案是提供异质结太阳能电池等离子增强化学气相沉积系统组态，直线式相对的设置，中间用一自动交换区将相对设置的系统隔离呈两的部份；该异质结太阳能电池等离子增强化学气相沉积系统组态依序包含加载区、自动交换区、第一承载室、第一反应室、第二反应室、第二承载室、第三反应室、第四反应室及卸载区，其中特点是所述之等离子增强化学气相沉积系统组态呈直线且相对组态设置，其中自动交换区设置正压式惰性气体循环系统；所述之等离子增强化学气相沉积系统组态第一承载室、多个镀膜反应室构成硅片正面薄膜沉积的功用；所述之等离子增强化学气相沉积系统组态第二承载室、多个镀膜反应室构成硅片反面薄膜沉积的功用；所述之等离子增强化学气相沉积系统组态呈直线且相对组态设置，此设置可形成一个整体组态完成异质结太阳能电池硅衬底正面及反面的薄膜沉积，此种设置对于未来产能扩充具有极大的弹性，只要将自动交换区加长，即可在设置相同的一个完整的组态；在上述异质结太阳能电池等离子增强化学气相沉积系统组态整体设制成直线型，自动交换区内设置正压式惰性气体循环系统，无需再另行设置洁净度高的区域来防止环境的污染，有效降低生产成本。附图说明图I系为本技术示意图。图2系为本技术另一实例示意图。主要组件符号说明。100...系统组态。101...第一区域。102...第一承载室。103...第一反应室。104...第二反应室。·105...第二承载室。106...第三反应室。107...第四反应室。108...自动交换区。109...隔离阀门。110...加载区。111...卸载区。200...本技术另一实例。201...第二区域。202...维修区。具体实施方式为使方简捷了解本技术之其他特征内容与优点及其所达成之功效能够为显现，兹将本技术配合附图，详细明如下请阅图1，本技术之主要目的系提供异质结太阳能电池等离子增强化学气相沉积系统组态，该等离子增强化学气相沉积系统组态呈直线且相对组态设置，包括依序连接的加载区110、自动交换区108和卸载区111构成的衬底载入、交换不同的沉积系统及移载的部份；其中所述之第一承载室102、第一反应室103、第二反应室104构成上半部；其中所述之第二承载室105、第三反应室106、第四反应室107构成下半部。同时，所述之异质结太阳能电池等离子增强化学气相沉积系统组态整体完成第一区域的基本组态，此基本组态可完成硅衬底正面及反面的薄膜沉积。在异质结太阳能电池等离子增强化学气相沉积系统组态沉积过程中，硅衬底首先由加载区110传送到自动交换区108，再透过隔离阀门109进入第一承载室102进行预处理，包括对硅衬底进行抽真空及加热的动作；再通过隔离阀门109进入第一反应室103进行真空反应；再通过隔离阀门109进入第二反应室104进行真空反应，所述之真空反应也就是在真空一定压腔下由高频电源解离由喷头进入的反应气体而产生等离子体进行薄膜沉积，如此及完成硅衬底正面的薄膜沉积，硅衬底再透过隔离阀门109进入第一反应室103及第一承载室102回传至自动交换区108 ;再由自动交换区108透过隔离阀门119传送到第二承载室105进行预处理，包括对硅衬底进行抽真空及加热的动作；再通过隔离阀门109进入第三反应室106进行真空反应；再通过隔离阀门109进入第四反应室107进行真空反应，如此及完成硅衬底反面的薄膜沉积，硅衬底再透过隔离阀门109进入第三反应室106及第二承载室105回传至自动交换区104 ;之后传送至卸载区111进行卸载。在上述异质结太阳能电池等离子增强化学气相沉积系统组态沉积中，硅衬底完成正面薄膜沉积后被传回自动交换区108后，在传到系统下半部沉积薄膜前，会在自动交换区108内完成硅衬底的翻面动作，因此在传入下半部时即可完成硅衬底的反面薄膜沉积，同时，因为自动交换区108内为充入惰性气体循环可有效防止硅衬底移载出真空系统被环境污染表面的问题，提升薄膜沉积的品质。本技术还提供另一种实例，请阅图2，完成第一区域101整体设置后，延长自动交换区108的长度，可再配置另一个完整区域以形成第二区域201的配置，如此一来可增大量产时的产能，可有效节省系统设置成本，同时，可利用中间区域设置维修区202，无需另行设置独立区域，有效节省设备占地面积。综上所述，本技术在突破先前之技术结构下，确实已达到所欲增进之功效，且也非熟悉该项技艺者所于思及，其所具之进步性、实用性，显已符合技术之申请要 件，惟上详细明系针对本技术之一可实施之具体明，该实施并非用以限制本技术之专范围，而凡未脱本技术技艺所为之等效实施或变，均应包含于本案之专范围中。权利要求1.异质结太阳能电池等离子增强化学气相沉积系统组态，直线式相对的设置，中间用一自动交换区将相对设置的系统隔离呈两的部份；该异质结太阳能电池等离子增强化学气相沉积系统组态依序包含加载区、自动交换区、第一承载室、第一反应室、第二反应室、第二承载室、第三反应室、第四反应室及卸载区。2.根据权利要求第I项所叙述之异质结太阳能电池等离子增强化学气相沉积系统组态，其中该自动交换区设置惰性气体循环系统。3.根据权利要求第I项所叙述之异质结太阳能电池等离子增强化学气相沉积系统组态，加载区、自动交换区、第一承载室、第一反应室、第二反应室、第二承载室、第三反应室、第四反应室及卸载区，完成第一区域的组态；以此组态可再控展为第二区域。专利摘要本技术目的提供异质结太阳能电池等离子增强化学气相沉积系统组态，直线式相对的设置，中间用一自动交换区将相对设置的系统隔离呈两的部份；该异质结太阳能电池等离子增强化学气相沉积系统组态依序包含加载区、自动交换区、第一承载室、第一反应室、第二反应室、第二承载室、第三反应室、第四反应室及卸载区，呈直线且相对组态设置，此设置可形成一个整体组态完成异质结太阳能电池硅衬底正面及反面的薄膜沉积，此种设置对于未来产能扩充具有极大的弹性，只要将自动交换区加长，即可在设置相同的一个完整的组态。在上述异质结太阳能电池等离子增强化学气相沉积系统组态整体设制成本文档来自技高网...

【技术保护点】
异质结太阳能电池等离子增强化学气相沉积系统组态，直线式相对的设置，中间用一自动交换区将相对设置的系统隔离呈两的部份；该异质结太阳能电池等离子增强化学气相沉积系统组态依序包含加载区、自动交换区、第一承载室、第一反应室、第二反应室、第二承载室、第三反应室、第四反应室及卸载区。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周文彬，刘幼海，刘吉人，
申请(专利权)人：吉富新能源科技上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：