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本实用新型目的提供异质结太阳能电池等离子增强化学气相沉积系统组态，直线式相对的设置，中间用一自动交换区将相对设置的系统隔离呈两的部份；该异质结太阳能电池等离子增强化学气相沉积系统组态依序包含加载区、自动交换区、第一承载室、第一反应室、第二反...
该专利属于吉富新能源科技(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过吉富新能源科技(上海)有限公司授权不得商用。

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