【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉 及磁控溅射镀膜设备
，尤其涉及ー种大面积玻璃镀膜调试片载体。
技术介绍
磁控溅射镀膜设备的传动辊是水平的，相邻两根传动辊中心之间的距离是30cm，靶材溅射的有效宽度是3300mm，这样传动辊中心之间的距离和溅射的宽度决定了最小均匀性调试片的宽度和长度。现在的均匀性调试片，一般长宽规格尺寸是750*3300mm。为什么要用到这种均匀性调试片呢？这主要是用来调试不同膜系产品的顔色均匀性。磁控溅射能镀在玻璃上面的有效宽度是3300mm，为了要使每个膜系产品都能达到这种均匀性宽度，就需要用均匀性调试片来调试，把镀在3300mm宽的玻璃上的每ー层膜层厚度调成基本一致，这样镀膜玻璃的顔色才能均匀，而不会出现颜色差别，才能达到生产要求。由于设备的特点而使均匀性调试片的规格尺寸定在750mm*3300mm，而实际上，通过在线光度计测量均匀性的颜色值，只需要150mm*3300mm尺寸的玻璃就可以测试出来，但是传动棍中心之间的距离有300mm,那如果玻璃尺寸是150mm*3300mm是不能放在传动棍上，是会直接掉下来的，那玻璃长为800mm只是为了在传动台上传...
【技术保护点】
一种大面积玻璃镀膜调试片载体，包括底座和靠背，所述载体的侧面为L形；其特征在于：所述底座和靠背长度尺寸相同，所述底座宽度尺寸较靠背宽度尺寸大175～200mm；所述载体具有能耐150℃以下的真空室温度，不释放气体，在线光度计可以自动测量的性能。
【技术特征摘要】
1.ー种大面积玻璃镀膜调试片载体，包括底座和靠背，所述载体的侧面为L形；其特征在于 所述底座和靠背长度尺寸相同，所述底座宽度尺寸较靠背宽度尺寸大175 200mm ； 所述载体具有能耐150°C以下的真空室温度，不释放气体，在线光度计可以自动测量的性能。2.根据权利要求I所述的大面积玻璃镀膜调试片载体，其特征在于所述底座和靠背一体成型。3.根据权利要求I所述的大面积玻璃镀膜调试片载体，其特征在于所述底座和靠背分别由两部分组成，所述底座长宽的尺寸为3300mm*750mm，所述靠背长宽的尺寸为3300111111*550111111。4.根据权利要求3所述的大面积玻璃镀膜调试片载体，其特征在于所述底座高的尺寸为5 ...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄颖，余华骏，崔平生，
申请(专利权)人：东莞南玻工程玻璃有限公司，
类型：发明
国别省市：
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