【技术实现步骤摘要】
一种太阳能光伏玻璃镀膜预加热装置
本专利技术关于一种太阳能光伏玻璃薄膜沈积预加热装置，特别关于一种PECVD真空腔体将以加热被处理物为目的所放射的光照射于被处理物所用的加热器。
技术介绍
当前，一般在PECVD制程中，在成膜、结晶化、等各种处理中，采用者加热处理。为了提升成膜的品质，在实用上，使用来自白热灯等的光源的光照射的光照射式加热处理装置被广泛地使用。于光透射性材料所构成的发光管内部配设灯丝所成的白热灯，是投入电力的90%以上被全放射，不接触被处理物而可加以加热，因此可将光利用作为热的代表性的灯。将此种白热灯使用作为太阳能光伏玻璃的加热用热源时，与电阻加热法相比较可高速降温被处理物的温度。在此，被处理物为例如太阳能光伏玻璃时，若加热产生温度分布不均匀，则于太阳能光伏玻璃发生所谓成膜分步步均匀现象，亦即发生膜厚及结晶化随着温度不同做不同程度的变化，导致无法控制太阳能光伏玻璃整面的均匀度。为此，使用光照射式加热处理装置，进行太阳能光伏玻璃成膜前加热时，能使太阳能光伏玻璃全面的温度分布成为均匀地， 乃藉其多年于相关领域的制造及设计经验和知识的辅佐，并经多方巧思，而研创出本创作。
技术实现思路
本专利技术在于提供一种太阳能光伏玻璃薄膜沈积预加热装置，其主要目的系为了提供一种太阳能光伏玻璃薄膜沈积预加热装置，但是在上述习知的加热装置中判明了会产生如下所示的问题。具体上，例如被处理物为太阳能光伏玻璃时，一般于太阳能光伏玻璃表面藉由沈积法等形成的薄膜，受到此些主要原因的影响而于太阳能光伏玻璃表面产生温度分布的情形。为了达到上述目的，本专利技术所采用的技术方案是一种太阳...
【技术保护点】
一种太阳能光伏玻璃薄膜沈积预加热装置，其特征在上下两组光灯丝组，每组又分割成五小组光灯丝组，各小组的灯丝分别独立供电。
【技术特征摘要】
1.一种太阳能光伏玻璃薄膜沈积预加热装置，其特征在上下两组光灯丝组，每组又分割成五小组光灯丝组，各小组的灯丝分别独立供电。2.根据权利要求1所述之一种太阳能光伏玻璃薄膜沈积预加热装置，其中，于上述各灯丝间，配设有绝缘体压。3.根据权利要求1所述之一种太阳能光伏玻璃薄膜沈积预加热装置，其中，上述供电电线...
【专利技术属性】
技术研发人员：周文彬，刘幼海，刘吉人，
申请(专利权)人：吉富新能源科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。